矽翔微機電系統(tǒng)有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）2003年成立于美國加州硅谷。矽翔公司設計和生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計，核心部件MEMS流量芯片及其專利封裝技術由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體流量計量和測控。近年來公司發(fā)明了熱飛行時間微流測控技術、場壓力傳感技術和MEMS渦街流量技術，為傳統(tǒng)的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。矽翔公司基于MEMS 技術的流量芯片廣泛應用于多種醫(yī)療設備（ 如：呼吸機、麻醉機、個人呼吸機、內窺鏡、伽馬醫(yī)療設備、哮喘監(jiān)測、藥物輸送、肺功能儀等），醫(yī)院中心供氧、制氧設備、分床計費系統(tǒng)，工業(yè)制造業(yè)用氣測量及過程控制，環(huán)保行業(yè)大氣監(jiān)測及分析、食品飲料加工，科學氣體分析儀器 ，半導體設備， 樓宇自控，民用健身與保健設備 ，家電生產(chǎn)工藝控制 ，汽車生產(chǎn)工藝控制，農林漁業(yè)養(yǎng)殖等領域；在全新的燃料電池等尖端科技領域亦有應用。