ULVAC Technologies 是一家提供真空組件和系統(tǒng)的公司。它提供氦氣檢漏儀、一系列泵、儀表、閥門(mén)、殘余氣體分析儀、傳感器和儀表頭、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，以及薄膜測(cè)量和熱分析和涂層產(chǎn)品。該公司還提供等離子灰化、蝕刻、冷凍干燥、離子注入機(jī)等系統(tǒng)。ULVAC Technologies 面向半導(dǎo)體、MEMS 和物聯(lián)網(wǎng)、LED、功率器件和其他市場(chǎng)。