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Limata X3000激光直接成像系統(tǒng),具有超大圖像尺寸曝光精度

來(lái)源: 中電網(wǎng)
2020-10-26
類別:技術(shù)信息
eye 49
文章創(chuàng)建人 拍明

原標(biāo)題:Limata X3000激光直接成像系統(tǒng),具有超大圖像尺寸曝光精度

Limata X3000激光直接成像(LDI)系統(tǒng)作為高端PCB制造設(shè)備,其超大圖像尺寸曝光精度特性可從技術(shù)架構(gòu)、核心優(yōu)勢(shì)及應(yīng)用場(chǎng)景三方面進(jìn)行專業(yè)解析:

一、技術(shù)架構(gòu)支撐超大尺寸與高精度

  1. 多光束并行掃描技術(shù)

    • 采用多組獨(dú)立激光模塊(如8-16組)并行作業(yè),每組模塊負(fù)責(zé)圖像分區(qū)的快速曝光,通過(guò)高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)拼接區(qū)域誤差<±3μm,確保24英寸(610mm)×30英寸(762mm)超大板面的整體一致性。

    • 類比:類似“多線程處理器”并行處理數(shù)據(jù),大幅提升效率的同時(shí)維持精度。

  2. 動(dòng)態(tài)聚焦與實(shí)時(shí)補(bǔ)償

    • 搭載自適應(yīng)聚焦系統(tǒng),通過(guò)高精度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)板面高度變化(精度±1μm),動(dòng)態(tài)調(diào)整激光焦點(diǎn),避免因板材翹曲或厚度不均導(dǎo)致的曝光模糊。

    • 示例:處理0.5mm-6mm厚度PCB時(shí),邊緣與中心區(qū)域的線寬差異可控制在±5μm以內(nèi)。

  3. 光路優(yōu)化與精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

    • 采用F-theta透鏡組直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的X-Y平臺(tái),運(yùn)動(dòng)速度達(dá)1.5m/s,加速度3G,重復(fù)定位精度±2μm,確保高速掃描下的圖像銳利度。

    • 對(duì)比:傳統(tǒng)機(jī)械掩模曝光受掩模尺寸限制,而LDI通過(guò)光路掃描實(shí)現(xiàn)“無(wú)限”板面擴(kuò)展。

二、核心性能指標(biāo)解析


參數(shù)Limata X3000規(guī)格行業(yè)基準(zhǔn)優(yōu)勢(shì)
最大曝光尺寸610mm×762mm(24×30英寸)典型500mm×600mm覆蓋大尺寸服務(wù)器板、背板需求
最小線寬/間距25μm/25μm50μm/50μm支持HDI 5階以上設(shè)計(jì)規(guī)則
套準(zhǔn)精度±5μm(3σ)±15μm滿足多層板層間對(duì)齊需求
生產(chǎn)效率300mm2/s(典型)150mm2/s雙工位設(shè)計(jì)可提升產(chǎn)能50%

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三、高精度應(yīng)用場(chǎng)景與價(jià)值

  1. 高端HDI與IC載板制造

    • 最小線寬25μm能力可滿足5G通信、AI芯片封裝基板等精密線路需求,減少蝕刻后線寬偏差至±3μm以內(nèi),提升信號(hào)完整性。

  2. 大尺寸柔性電路板(FPC)

    • 610mm×762mm曝光幅面可一次性完成折疊屏手機(jī)FPC的整板成像,避免拼接誤差導(dǎo)致的柔性區(qū)域失效。

  3. 科研與原型驗(yàn)證

    • 動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)支持曲面PCB(如可穿戴設(shè)備)的立體曝光,縮短從設(shè)計(jì)到樣品的周期(<8小時(shí))。

四、與競(jìng)品對(duì)比的差異化優(yōu)勢(shì)

  • 精度穩(wěn)定性:傳統(tǒng)LDI系統(tǒng)因光路抖動(dòng)易導(dǎo)致邊緣模糊,Limata X3000通過(guò)閉環(huán)控制將邊緣線寬波動(dòng)控制在±2μm以內(nèi)。

  • 維護(hù)成本:無(wú)物理掩模設(shè)計(jì),耗材成本降低70%,年維護(hù)時(shí)間減少至傳統(tǒng)設(shè)備的1/3。

  • 擴(kuò)展性:模塊化設(shè)計(jì)支持未來(lái)升級(jí)至15μm線寬能力,適應(yīng)半導(dǎo)體封裝基板等更高精度需求。

五、技術(shù)局限與改進(jìn)方向

  • 當(dāng)前局限:超薄材料(<0.1mm)曝光時(shí)因熱效應(yīng)可能產(chǎn)生微小形變,需優(yōu)化激光功率動(dòng)態(tài)算法。

  • 未來(lái)升級(jí):計(jì)劃引入AI圖像預(yù)處理技術(shù),通過(guò)機(jī)器學(xué)習(xí)預(yù)測(cè)并補(bǔ)償材料特性差異,進(jìn)一步提升良率。

總結(jié):Limata X3000通過(guò)多光束并行、動(dòng)態(tài)聚焦等核心技術(shù),在超大尺寸曝光中實(shí)現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的精度與效率,尤其適用于高端HDI、IC載板及柔性電路領(lǐng)域。其模塊化設(shè)計(jì)與AI升級(jí)潛力,為未來(lái)PCB制造的智能化轉(zhuǎn)型提供了技術(shù)基礎(chǔ)。


責(zé)任編輯:David

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標(biāo)簽: 成像系統(tǒng) Limata X3000

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