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新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備試產成功

來源: 中電網(wǎng)
2020-12-28
類別:業(yè)界動態(tài)
eye 9
文章創(chuàng)建人 拍明

原標題:新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備試產成功

新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備試產成功的消息確實令人振奮,這標志著我國在集成電路制造領域取得了重要突破。以下是對該事件的詳細分析:

一、試產成功背景

大尺寸半導體硅單晶材料是制約我國集成電路產業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問題。為了打破這一瓶頸,西安理工大學和西安奕斯偉硅片技術有限公司緊密協(xié)作,共同研制了新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備。

二、試產成功意義

  1. 技術突破:該設備的成功試產意味著我國在大尺寸硅單晶生長關鍵技術裝備和核心工藝方面取得了重大突破。這為實現(xiàn)大尺寸、高品質集成電路級硅單晶材料的國產化提供了有力支持。

  2. 滿足需求:隨著集成電路產業(yè)的快速發(fā)展,對大尺寸、高品質硅單晶材料的需求日益增加。該設備的成功試產將有效滿足這一需求,推動我國集成電路產業(yè)的進一步發(fā)展。

  3. 提升競爭力:國產大尺寸硅單晶生長設備的成功研制將提升我國在集成電路制造領域的國際競爭力,有助于打破國外技術封鎖和市場壟斷。

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三、試產成果

  1. 設備規(guī)格:新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備能夠生產出直徑300毫米(即12英寸)、長度2100毫米的高品質硅單晶材料。這一規(guī)格符合當前集成電路制造的主流需求。

  2. 產品品質:采用自主研發(fā)的國產技術裝備拉制出的大尺寸、高品質集成電路級硅單晶材料,具有無位錯、無原生缺陷、超平坦和優(yōu)良納米形貌等特點。這些特點使得硅單晶材料能夠滿足28納米以下集成電路芯片的制作要求。

四、未來展望

  1. 產業(yè)化應用:隨著新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備的成功試產,預計很快將實現(xiàn)產業(yè)化應用。這將有助于降低生產成本,提高生產效率,進一步推動我國集成電路產業(yè)的發(fā)展。

  2. 技術創(chuàng)新:未來,西安理工大學和西安奕斯偉硅片技術有限公司將繼續(xù)深化合作,針對更先進的集成電路芯片要求,開展技術攻關和創(chuàng)新。這將為我國集成電路產業(yè)的持續(xù)發(fā)展提供有力保障。

綜上所述,新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備的成功試產是我國集成電路產業(yè)發(fā)展歷程中的重要里程碑。它不僅解決了制約我國集成電路產業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問題,還為我國集成電路產業(yè)的進一步發(fā)展奠定了堅實基礎。


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標簽: 集成電路硅

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