制備芯片原材料,我國有了更大的“鍋”


原標題:制備芯片原材料,我國有了更大的“鍋”
制備芯片原材料,我國確實在設備方面取得了顯著的進展,擁有了更大的“鍋”——即超大規(guī)格的熱等靜壓設備。以下是對這一進展的詳細解讀:
一、設備研制背景與意義
隨著全球芯片產業(yè)的快速發(fā)展,對芯片原材料的需求也日益增長。高純?yōu)R射靶材作為芯片制造的關鍵原材料之一,其制備過程需要高精度的設備和工藝。為了滿足國內芯片產業(yè)對高純?yōu)R射靶材的需求,提升我國在全球芯片產業(yè)鏈中的地位,研制超大規(guī)格的熱等靜壓設備顯得尤為重要。
二、設備研制與投產
由寧波江豐電子材料股份有限公司(江豐電子)與四川航空工業(yè)川西機器有限責任公司(川西機器)聯(lián)合研制的超大規(guī)格熱等靜壓設備,于2021年6月30日正式投產。該設備是目前國內有效熱區(qū)容積最大的熱等靜壓設備,可制備長度達4米的超長規(guī)格高純?yōu)R射靶材。
三、設備特點與技術參數(shù)
超大規(guī)格:該設備的有效熱區(qū)工作高度達到4.5米,直徑1.25米,能夠滿足超長規(guī)格高純?yōu)R射靶材的制備需求。
高精度:設備具有控制精度為±1兆帕的氣體壓力比例控制功能,確保靶材制備過程中的穩(wěn)定性和均勻性。
高溫高壓:最高加熱溫度可達1500℃,最大壓力可達2000個大氣壓,為靶材的致密化提供了極端的工藝條件。
四、設備與原材料制備的關系
熱等靜壓設備在芯片原材料制備中起著至關重要的作用。它能夠實現(xiàn)高純粉末冶金濺射靶材的有效致密化,以及靶材基板異種金屬的大面積擴散焊接。通過消除原材料中的缺陷,達到完美致密的工藝要求,從而制備出高質量的高純?yōu)R射靶材。
五、設備與芯片產業(yè)的關聯(lián)
提升產能:超大規(guī)格熱等靜壓設備的投產,將顯著提高我國高純?yōu)R射靶材的制備效率,滿足國內芯片產業(yè)對原材料的需求。
降低成本:通過提高制備效率和產品質量,有助于降低芯片原材料的生產成本,提升我國芯片產業(yè)的競爭力。
推動產業(yè)升級:該設備的研制和投產,標志著我國在芯片原材料制備領域取得了重要突破,有助于推動整個芯片產業(yè)的升級和發(fā)展。
綜上所述,我國研制投產的超大規(guī)格熱等靜壓設備,為芯片原材料的制備提供了有力的支持。這一進展不僅提升了我國在全球芯片產業(yè)鏈中的地位,也為我國芯片產業(yè)的未來發(fā)展奠定了堅實的基礎。
責任編輯:David
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