原標(biāo)題：晶瑞電材：ArF（193）高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)

晶瑞電材在高端光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)工作一直備受關(guān)注，特別是在ArF（193nm）高端光刻膠方面，公司取得了顯著進(jìn)展。以下是關(guān)于晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠研發(fā)工作的詳細(xì)情況：

一、研發(fā)工作正式啟動(dòng)

晶瑞電材已經(jīng)正式啟動(dòng)了ArF（193nm）高端光刻膠的研發(fā)工作。這一決定是公司戰(zhàn)略布局的重要組成部分，旨在通過(guò)自主研發(fā)，打破國(guó)外技術(shù)壟斷，滿足國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)高端光刻膠的迫切需求。

二、研發(fā)進(jìn)展與設(shè)備購(gòu)置

在研發(fā)過(guò)程中，晶瑞電材已經(jīng)完成了關(guān)鍵設(shè)備的購(gòu)置和調(diào)試工作。這些設(shè)備包括光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺(tái)階儀等，其中ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。這些設(shè)備的到位和調(diào)試成功，為ArF高端光刻膠的研發(fā)工作提供了有力的技術(shù)保障。

三、KrF高端光刻膠的量產(chǎn)情況

值得注意的是，晶瑞電材在KrF（248nm）高端光刻膠的研發(fā)和量產(chǎn)方面也取得了重要進(jìn)展。公司高端KrF光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，并進(jìn)入客戶測(cè)試階段。目前，KrF高端光刻膠部分品種已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，這為公司積累了豐富的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，也為ArF高端光刻膠的研發(fā)工作奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

四、全產(chǎn)業(yè)鏈布局與技術(shù)攻關(guān)

晶瑞電材不僅注重光刻膠本身的研發(fā)和生產(chǎn)，還積極開(kāi)展對(duì)上游材料樹(shù)脂單體及配方的研究。公司旨在通過(guò)全產(chǎn)業(yè)鏈布局，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵材料的自主可控，提升整體競(jìng)爭(zhēng)力。同時(shí)，公司還牽頭發(fā)起了超大規(guī)模集成電路用高端光刻膠技術(shù)攻關(guān)及產(chǎn)業(yè)化工程的攻關(guān)任務(wù)，旨在通過(guò)自主研發(fā)，打通ArF、KrF光刻膠用樹(shù)脂的工藝合成路線，滿足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場(chǎng)需求。

五、未來(lái)展望

隨著全球集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的不斷擴(kuò)大，高端光刻膠的需求量將持續(xù)增長(zhǎng)。晶瑞電材作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商，將繼續(xù)加大在高端光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)投入和產(chǎn)業(yè)化力度，推動(dòng)公司技術(shù)水平和市場(chǎng)占有率的不斷提升。同時(shí)，公司也將積極尋求與國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀企業(yè)的合作機(jī)會(huì)，共同推動(dòng)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。

綜上所述，晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠的研發(fā)工作已經(jīng)正式啟動(dòng)并取得初步進(jìn)展。公司將繼續(xù)秉承創(chuàng)新發(fā)展的理念，致力于成為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商之一。