多種MEMS傳感器都可以將感知到的物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出。以下是一些常見的可以轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的MEMS傳感器：

1. 加速度傳感器：

• 原理：通常通過微型化的質(zhì)量塊和彈簧系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)物體加速時(shí)，質(zhì)量塊受到慣性力的作用發(fā)生位移，進(jìn)而通過傳感器內(nèi)部的電學(xué)元件（如電容或電阻）將位移轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。

• 應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)（屏幕旋轉(zhuǎn)、運(yùn)動(dòng)跟蹤、摔倒檢測(cè)等）、汽車安全系統(tǒng)（碰撞檢測(cè)、車輛姿態(tài)控制等）、航空航天（慣性導(dǎo)航系統(tǒng)）等領(lǐng)域。

2. 陀螺儀：

• 原理：基于科里奧利力原理工作。當(dāng)陀螺儀繞某一軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，其內(nèi)部的微型轉(zhuǎn)子會(huì)受到科里奧利力的作用而產(chǎn)生振動(dòng)。通過檢測(cè)振動(dòng)的頻率和相位差，可以計(jì)算出陀螺儀繞軸的角速度，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。

• 應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于飛行器導(dǎo)航、虛擬現(xiàn)實(shí)頭盔、無人機(jī)等領(lǐng)域，用于確定物體的姿態(tài)和位置。

3. 壓力傳感器：

• 原理：通常利用壓阻效應(yīng)、電容效應(yīng)或壓電效應(yīng)來測(cè)量壓力。當(dāng)外部壓力作用于傳感器時(shí)，其內(nèi)部的微型機(jī)械結(jié)構(gòu)（如彈性變形的薄膜）會(huì)發(fā)生形變，導(dǎo)致電阻、電容或壓電效應(yīng)的變化，從而產(chǎn)生電信號(hào)輸出。

• 應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于汽車制動(dòng)系統(tǒng)、空壓機(jī)、醫(yī)療器械等領(lǐng)域，用于監(jiān)測(cè)壓力變化。例如，在汽車輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，壓力傳感器能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)輪胎內(nèi)的壓力情況，確保行車安全。

4. 溫度傳感器：

• 原理：通常通過微型化的熱敏元件（如鉑電阻、熱電偶等）實(shí)現(xiàn)溫度測(cè)量。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，熱敏元件的電阻值或電動(dòng)勢(shì)會(huì)發(fā)生變化，進(jìn)而通過電路將溫度變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。

• 應(yīng)用：用于測(cè)量物體的溫度，在消費(fèi)電子、汽車工業(yè)、醫(yī)療設(shè)備和航空航天等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。

5. 氣體傳感器：

• 原理：是一種能夠感知?dú)怏w濃度、成分等參數(shù)的MEMS傳感器。其工作原理可能基于化學(xué)反應(yīng)、吸附/脫附效應(yīng)或物理性質(zhì)的變化等，將氣體濃度的變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。

• 應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)安全、智能家居等領(lǐng)域，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣中的有害氣體濃度。

綜上所述，加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、溫度傳感器和氣體傳感器等多種MEMS傳感器都可以將感知到的物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出，這些電信號(hào)可以被后續(xù)的信號(hào)處理電路或微處理器進(jìn)一步處理和分析。