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MOS管和HEMT管有什么區(qū)別?

來(lái)源:
2025-04-29
類(lèi)別:基礎(chǔ)知識(shí)
eye 1
文章創(chuàng)建人 拍明芯城

一、結(jié)構(gòu)與材料差異


特性MOSFET(以硅基為例)HEMT(以氮化鎵GaN HEMT為例)
材料體系硅(Si)襯底 + 二氧化硅(SiO?)柵介質(zhì)氮化鎵(GaN)異質(zhì)結(jié)(如AlGaN/GaN) + 無(wú)傳統(tǒng)柵介質(zhì)
導(dǎo)電溝道形成機(jī)制通過(guò)柵極電壓在P型襯底上形成N型反型層(電子溝道)通過(guò)晶格失配產(chǎn)生的極化效應(yīng)在異質(zhì)結(jié)界面形成二維電子氣(2DEG)
柵極結(jié)構(gòu)金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS)結(jié)構(gòu)肖特基柵極(耗盡型)或MIS(金屬-絕緣體-半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)(增強(qiáng)型)
典型工藝節(jié)點(diǎn)主流為90nm~22nm(CMOS工藝)異質(zhì)外延生長(zhǎng)(如MOCVD),無(wú)標(biāo)準(zhǔn)“工藝節(jié)點(diǎn)”概念


  • 關(guān)鍵差異

    • MOSFET依賴(lài)反型層:需柵介質(zhì)隔離柵極與溝道,受限于硅材料的電子遷移率(~1500 cm2/V·s)。

    • HEMT依賴(lài)2DEG:2DEG電子遷移率可達(dá)2000~2500 cm2/V·s(GaN基),且無(wú)需反型層,導(dǎo)通損耗更低。


二、工作原理對(duì)比


參數(shù)MOSFETHEMT
導(dǎo)通條件柵極電壓 > 閾值電壓(Vth),形成反型層耗盡型:柵極不加電壓時(shí)默認(rèn)導(dǎo)通(需負(fù)壓關(guān)斷)
增強(qiáng)型:柵極電壓 > 閾值電壓,耗盡2DEG
關(guān)斷機(jī)制柵極電壓 < Vth,反型層消失耗盡型:柵極加負(fù)壓,耗盡2DEG
增強(qiáng)型:柵極電壓 < Vth,恢復(fù)2DEG
柵極漏電柵氧化層(SiO?)厚度限制,漏電較低(<1 nA/mm)肖特基柵極漏電較高(~μA/mm),增強(qiáng)型HEMT通過(guò)MIS結(jié)構(gòu)降低漏電
擊穿電壓受限于硅材料特性,高壓器件(>600V)需優(yōu)化漂移區(qū)設(shè)計(jì)GaN材料帶隙寬(3.4 eV),天然耐高壓(650V~1200V)


  • 類(lèi)比說(shuō)明

    • MOSFET如“水龍頭開(kāi)關(guān)”:通過(guò)柵極電壓控制硅襯底中的“水”(電子)是否流動(dòng)(形成反型層)。

    • HEMT如“天然河道”:2DEG是預(yù)先存在的“水流”(高濃度電子),柵極電壓僅控制“閘門(mén)”(耗盡或恢復(fù)2DEG)。


三、性能參數(shù)對(duì)比


指標(biāo)MOSFET(硅基)HEMT(GaN基)
電子遷移率~1500 cm2/V·s2000~2500 cm2/V·s(GaN)
飽和漂移速度~1×10? cm/s~2.5×10? cm/s(GaN)
開(kāi)關(guān)頻率<1 MHz(高壓器件)
~100 MHz(低壓器件)
>1 MHz(高壓器件)
10~100 MHz(高頻器件)
導(dǎo)通電阻(RDS(on)較高(如10 mΩ·cm2 @ 600V)極低(如1 mΩ·cm2 @ 650V)
反向恢復(fù)電荷(Qrr存在體二極管,Qrr較大無(wú)體二極管,Qrr≈0(適合硬開(kāi)關(guān))
工作溫度-55°C~175°C(受限于硅材料)-200°C~600°C(GaN理論極限,實(shí)際受封裝限制)

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  • 數(shù)據(jù)對(duì)比示例

    • 硅基MOSFET在MHz級(jí)頻率下開(kāi)關(guān)損耗激增,而GaN HEMT可穩(wěn)定工作于10 MHz以上。

    • 硅基MOSFET:RDS(on) ≈ 80 mΩ,開(kāi)關(guān)損耗占比高。

    • GaN HEMT:RDS(on) ≈ 15 mΩ,開(kāi)關(guān)損耗降低70%。

    • 650V器件

    • 高頻應(yīng)用


四、應(yīng)用場(chǎng)景差異


應(yīng)用類(lèi)型MOSFET優(yōu)勢(shì)場(chǎng)景HEMT優(yōu)勢(shì)場(chǎng)景
低壓高頻DC-DC轉(zhuǎn)換(<100V,如手機(jī)快充)無(wú)線充電發(fā)射端(>10 MHz)
高壓高功率電動(dòng)汽車(chē)逆變器(<600V)光伏逆變器(650V~1200V)、數(shù)據(jù)中心電源(高功率密度)
射頻功率放大微波器件(<10 GHz)5G基站功率放大器(28 GHz~39 GHz)、衛(wèi)星通信
極端環(huán)境消費(fèi)電子(成本敏感)航空航天(耐輻射、耐高溫)


  • 典型案例

    • Qorvo QPD1025L:28 GHz GaN HEMT,用于5G基站,輸出功率40 W,效率45%。

    • 英飛凌OptiMOS?系列:用于車(chē)載OBC(車(chē)載充電機(jī)),開(kāi)關(guān)頻率200 kHz。

    • MOSFET

    • HEMT


五、術(shù)語(yǔ)與命名混淆點(diǎn)

  • “GaN MOSFET”的俗稱(chēng)

    • MOSFET:特指硅基金屬-氧化物-半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管。

    • HEMT:高電子遷移率晶體管,材料包括GaAs、InP、GaN等。

    • 部分增強(qiáng)型GaN HEMT(如E-mode GaN)因柵極驅(qū)動(dòng)與MOSFET兼容,被簡(jiǎn)稱(chēng)為“GaN MOSFET”。

    • 嚴(yán)格區(qū)分

  • 行業(yè)慣例

    • 學(xué)術(shù)文獻(xiàn)中需明確區(qū)分,工程領(lǐng)域可接受“GaN MOSFET”作為增強(qiáng)型GaN HEMT的簡(jiǎn)稱(chēng)。


六、總結(jié)對(duì)比表


對(duì)比維度MOSFETHEMT
核心結(jié)構(gòu)反型層 + 柵介質(zhì)2DEG + 異質(zhì)結(jié)
導(dǎo)通機(jī)制電壓控制反型層電壓控制2DEG耗盡
典型材料硅(Si)氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)
開(kāi)關(guān)頻率低頻(<1 MHz)高頻(>1 MHz)
導(dǎo)通損耗高(RDS(on)大)低(RDS(on)?。?/span>
反向恢復(fù)損耗存在(體二極管)接近零(無(wú)體二極管)
行業(yè)俗稱(chēng)MOSFET“GaN MOSFET”(僅增強(qiáng)型)、GaN HEMT




最終結(jié)論

  1. 結(jié)構(gòu)與原理本質(zhì)不同

    • MOSFET依賴(lài)反型層和柵介質(zhì),HEMT依賴(lài)2DEG和異質(zhì)結(jié)極化效應(yīng)。

  2. 性能優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)

    • MOSFET適用于低壓高頻或成本敏感場(chǎng)景,HEMT主導(dǎo)高壓高頻、高功率密度應(yīng)用。

  3. 術(shù)語(yǔ)使用建議

    • 學(xué)術(shù)嚴(yán)謹(jǐn)性:區(qū)分MOSFET(硅基)與HEMT(異質(zhì)結(jié))。

    • 工程簡(jiǎn)化:在增強(qiáng)型GaN HEMT場(chǎng)景下,可接受“GaN MOSFET”的俗稱(chēng),但需明確器件類(lèi)型。

一句話總結(jié)
MOSFET是“硅基反型層開(kāi)關(guān)”,HEMT是“異質(zhì)結(jié)2DEG調(diào)制器”,二者因材料與機(jī)制差異分屬不同技術(shù)路線,但通過(guò)結(jié)構(gòu)優(yōu)化(如增強(qiáng)型GaN HEMT)在部分場(chǎng)景下實(shí)現(xiàn)功能重疊。


責(zé)任編輯:Pan

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標(biāo)簽: HEMT管

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