MOS管和HEMT管有什么區(qū)別?


一、結(jié)構(gòu)與材料差異
特性 | MOSFET(以硅基為例) | HEMT(以氮化鎵GaN HEMT為例) |
---|---|---|
材料體系 | 硅(Si)襯底 + 二氧化硅(SiO?)柵介質(zhì) | 氮化鎵(GaN)異質(zhì)結(jié)(如AlGaN/GaN) + 無(wú)傳統(tǒng)柵介質(zhì) |
導(dǎo)電溝道形成機(jī)制 | 通過(guò)柵極電壓在P型襯底上形成N型反型層(電子溝道) | 通過(guò)晶格失配產(chǎn)生的極化效應(yīng)在異質(zhì)結(jié)界面形成二維電子氣(2DEG) |
柵極結(jié)構(gòu) | 金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS)結(jié)構(gòu) | 肖特基柵極(耗盡型)或MIS(金屬-絕緣體-半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)(增強(qiáng)型) |
典型工藝節(jié)點(diǎn) | 主流為90nm~22nm(CMOS工藝) | 異質(zhì)外延生長(zhǎng)(如MOCVD),無(wú)標(biāo)準(zhǔn)“工藝節(jié)點(diǎn)”概念 |
關(guān)鍵差異:
MOSFET依賴(lài)反型層:需柵介質(zhì)隔離柵極與溝道,受限于硅材料的電子遷移率(~1500 cm2/V·s)。
HEMT依賴(lài)2DEG:2DEG電子遷移率可達(dá)2000~2500 cm2/V·s(GaN基),且無(wú)需反型層,導(dǎo)通損耗更低。
二、工作原理對(duì)比
參數(shù) | MOSFET | HEMT |
---|---|---|
導(dǎo)通條件 | 柵極電壓 > 閾值電壓(Vth),形成反型層 | 耗盡型:柵極不加電壓時(shí)默認(rèn)導(dǎo)通(需負(fù)壓關(guān)斷) 增強(qiáng)型:柵極電壓 > 閾值電壓,耗盡2DEG |
關(guān)斷機(jī)制 | 柵極電壓 < Vth,反型層消失 | 耗盡型:柵極加負(fù)壓,耗盡2DEG 增強(qiáng)型:柵極電壓 < Vth,恢復(fù)2DEG |
柵極漏電 | 柵氧化層(SiO?)厚度限制,漏電較低(<1 nA/mm) | 肖特基柵極漏電較高(~μA/mm),增強(qiáng)型HEMT通過(guò)MIS結(jié)構(gòu)降低漏電 |
擊穿電壓 | 受限于硅材料特性,高壓器件(>600V)需優(yōu)化漂移區(qū)設(shè)計(jì) | GaN材料帶隙寬(3.4 eV),天然耐高壓(650V~1200V) |
類(lèi)比說(shuō)明:
MOSFET如“水龍頭開(kāi)關(guān)”:通過(guò)柵極電壓控制硅襯底中的“水”(電子)是否流動(dòng)(形成反型層)。
HEMT如“天然河道”:2DEG是預(yù)先存在的“水流”(高濃度電子),柵極電壓僅控制“閘門(mén)”(耗盡或恢復(fù)2DEG)。
三、性能參數(shù)對(duì)比
指標(biāo) | MOSFET(硅基) | HEMT(GaN基) |
---|---|---|
電子遷移率 | ~1500 cm2/V·s | 2000~2500 cm2/V·s(GaN) |
飽和漂移速度 | ~1×10? cm/s | ~2.5×10? cm/s(GaN) |
開(kāi)關(guān)頻率 | <1 MHz(高壓器件) ~100 MHz(低壓器件) | >1 MHz(高壓器件) 10~100 MHz(高頻器件) |
導(dǎo)通電阻(RDS(on)) | 較高(如10 mΩ·cm2 @ 600V) | 極低(如1 mΩ·cm2 @ 650V) |
反向恢復(fù)電荷(Qrr) | 存在體二極管,Qrr較大 | 無(wú)體二極管,Qrr≈0(適合硬開(kāi)關(guān)) |
工作溫度 | -55°C~175°C(受限于硅材料) | -200°C~600°C(GaN理論極限,實(shí)際受封裝限制) |
數(shù)據(jù)對(duì)比示例:
硅基MOSFET在MHz級(jí)頻率下開(kāi)關(guān)損耗激增,而GaN HEMT可穩(wěn)定工作于10 MHz以上。
硅基MOSFET:RDS(on) ≈ 80 mΩ,開(kāi)關(guān)損耗占比高。
GaN HEMT:RDS(on) ≈ 15 mΩ,開(kāi)關(guān)損耗降低70%。
650V器件:
高頻應(yīng)用:
四、應(yīng)用場(chǎng)景差異
應(yīng)用類(lèi)型 | MOSFET優(yōu)勢(shì)場(chǎng)景 | HEMT優(yōu)勢(shì)場(chǎng)景 |
---|---|---|
低壓高頻 | DC-DC轉(zhuǎn)換(<100V,如手機(jī)快充) | 無(wú)線充電發(fā)射端(>10 MHz) |
高壓高功率 | 電動(dòng)汽車(chē)逆變器(<600V) | 光伏逆變器(650V~1200V)、數(shù)據(jù)中心電源(高功率密度) |
射頻功率放大 | 微波器件(<10 GHz) | 5G基站功率放大器(28 GHz~39 GHz)、衛(wèi)星通信 |
極端環(huán)境 | 消費(fèi)電子(成本敏感) | 航空航天(耐輻射、耐高溫) |
典型案例:
Qorvo QPD1025L:28 GHz GaN HEMT,用于5G基站,輸出功率40 W,效率45%。
英飛凌OptiMOS?系列:用于車(chē)載OBC(車(chē)載充電機(jī)),開(kāi)關(guān)頻率200 kHz。
MOSFET:
HEMT:
五、術(shù)語(yǔ)與命名混淆點(diǎn)
“GaN MOSFET”的俗稱(chēng):
MOSFET:特指硅基金屬-氧化物-半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管。
HEMT:高電子遷移率晶體管,材料包括GaAs、InP、GaN等。
部分增強(qiáng)型GaN HEMT(如E-mode GaN)因柵極驅(qū)動(dòng)與MOSFET兼容,被簡(jiǎn)稱(chēng)為“GaN MOSFET”。
嚴(yán)格區(qū)分:
行業(yè)慣例:
學(xué)術(shù)文獻(xiàn)中需明確區(qū)分,工程領(lǐng)域可接受“GaN MOSFET”作為增強(qiáng)型GaN HEMT的簡(jiǎn)稱(chēng)。
六、總結(jié)對(duì)比表
對(duì)比維度 | MOSFET | HEMT |
---|---|---|
核心結(jié)構(gòu) | 反型層 + 柵介質(zhì) | 2DEG + 異質(zhì)結(jié) |
導(dǎo)通機(jī)制 | 電壓控制反型層 | 電壓控制2DEG耗盡 |
典型材料 | 硅(Si) | 氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs) |
開(kāi)關(guān)頻率 | 低頻(<1 MHz) | 高頻(>1 MHz) |
導(dǎo)通損耗 | 高(RDS(on)大) | 低(RDS(on)?。?/span> |
反向恢復(fù)損耗 | 存在(體二極管) | 接近零(無(wú)體二極管) |
行業(yè)俗稱(chēng) | MOSFET | “GaN MOSFET”(僅增強(qiáng)型)、GaN HEMT |
最終結(jié)論
結(jié)構(gòu)與原理本質(zhì)不同:
MOSFET依賴(lài)反型層和柵介質(zhì),HEMT依賴(lài)2DEG和異質(zhì)結(jié)極化效應(yīng)。
性能優(yōu)勢(shì)互補(bǔ):
MOSFET適用于低壓高頻或成本敏感場(chǎng)景,HEMT主導(dǎo)高壓高頻、高功率密度應(yīng)用。
術(shù)語(yǔ)使用建議:
學(xué)術(shù)嚴(yán)謹(jǐn)性:區(qū)分MOSFET(硅基)與HEMT(異質(zhì)結(jié))。
工程簡(jiǎn)化:在增強(qiáng)型GaN HEMT場(chǎng)景下,可接受“GaN MOSFET”的俗稱(chēng),但需明確器件類(lèi)型。
一句話總結(jié):
MOSFET是“硅基反型層開(kāi)關(guān)”,HEMT是“異質(zhì)結(jié)2DEG調(diào)制器”,二者因材料與機(jī)制差異分屬不同技術(shù)路線,但通過(guò)結(jié)構(gòu)優(yōu)化(如增強(qiáng)型GaN HEMT)在部分場(chǎng)景下實(shí)現(xiàn)功能重疊。
責(zé)任編輯:Pan
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