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半導(dǎo)體元器件容易失效的原因,離不開(kāi)這五大原

來(lái)源: 中電網(wǎng)
2020-10-22
類別:技術(shù)信息
eye 34
文章創(chuàng)建人 拍明

原標(biāo)題:半導(dǎo)體元器件容易失效的原因,離不開(kāi)這五大原

半導(dǎo)體元器件容易失效的原因,確實(shí)主要離不開(kāi)以下五大原因:

1. 材料與工藝缺陷

  • 材料不純:半導(dǎo)體材料(如硅、鍺等)在生長(zhǎng)和提純過(guò)程中可能含有雜質(zhì),這些雜質(zhì)會(huì)成為電荷陷阱或復(fù)合中心,影響載流子的遷移率和壽命,從而降低器件性能,甚至導(dǎo)致失效。

  • 工藝控制不當(dāng):在制造過(guò)程中,如光刻、刻蝕、摻雜、薄膜沉積等步驟,若工藝參數(shù)(如溫度、壓力、時(shí)間、氣體流量等)控制不當(dāng),會(huì)導(dǎo)致器件結(jié)構(gòu)異常,如層間短路、開(kāi)路、界面態(tài)增多等,進(jìn)而引發(fā)失效。

2. 電應(yīng)力

  • 過(guò)電壓:當(dāng)半導(dǎo)體元器件承受的電壓超過(guò)其額定值時(shí),會(huì)導(dǎo)致PN結(jié)擊穿、介質(zhì)層擊穿或柵氧化層擊穿,造成永久性損壞。

  • 過(guò)電流:過(guò)大的電流通過(guò)器件時(shí),會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,使器件溫度升高,可能導(dǎo)致熱擊穿、金屬互連線熔斷或封裝材料損壞。

  • 靜電放電(ESD):在半導(dǎo)體元器件的生產(chǎn)、運(yùn)輸、裝配和使用過(guò)程中,靜電放電是一個(gè)常見(jiàn)的失效原因。ESD會(huì)產(chǎn)生高電壓和大電流,瞬間擊穿器件的敏感區(qū)域,導(dǎo)致失效。

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3. 熱應(yīng)力

  • 溫度循環(huán):半導(dǎo)體元器件在工作過(guò)程中會(huì)經(jīng)歷溫度變化,這種溫度循環(huán)會(huì)導(dǎo)致材料熱膨脹系數(shù)不匹配,產(chǎn)生熱應(yīng)力,進(jìn)而引發(fā)封裝開(kāi)裂、焊點(diǎn)疲勞、金屬互連線斷裂等問(wèn)題。

  • 高溫老化:長(zhǎng)時(shí)間在高溫環(huán)境下工作,會(huì)加速器件內(nèi)部材料的擴(kuò)散、化學(xué)反應(yīng)和物理變化,導(dǎo)致性能退化,如閾值電壓漂移、漏電流增大、遷移率下降等。

4. 環(huán)境因素

  • 濕度:高濕度環(huán)境會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體元器件表面吸附水分,形成水膜,降低絕緣電阻,增加漏電流,甚至引發(fā)短路。同時(shí),水分還可能滲入封裝內(nèi)部,腐蝕金屬互連線或與材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致失效。

  • 化學(xué)腐蝕:半導(dǎo)體元器件在特定環(huán)境下可能接觸到腐蝕性氣體(如氯氣、硫化氫等)或液體(如酸、堿等),這些腐蝕性物質(zhì)會(huì)與器件材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),破壞器件結(jié)構(gòu),導(dǎo)致失效。

  • 輻射:在核電站、航空航天等特殊環(huán)境中,半導(dǎo)體元器件可能受到輻射的影響。輻射會(huì)產(chǎn)生電子-空穴對(duì),導(dǎo)致器件性能退化,如閾值電壓漂移、增益下降等。嚴(yán)重時(shí),輻射還可能直接損壞器件結(jié)構(gòu),造成永久性失效。

5. 機(jī)械應(yīng)力

  • 振動(dòng)與沖擊:在運(yùn)輸、裝配和使用過(guò)程中,半導(dǎo)體元器件可能受到振動(dòng)和沖擊力的作用。這些機(jī)械應(yīng)力可能導(dǎo)致封裝開(kāi)裂、焊點(diǎn)脫落、金屬互連線斷裂或芯片與基板之間的粘接失效等問(wèn)題。

  • 封裝缺陷:封裝是保護(hù)半導(dǎo)體元器件免受外界環(huán)境影響的重要措施。然而,封裝過(guò)程中可能存在缺陷,如封裝材料內(nèi)部存在氣泡、裂紋或封裝與芯片之間的粘接不牢固等。這些缺陷在受到機(jī)械應(yīng)力時(shí)容易擴(kuò)展,導(dǎo)致封裝失效,進(jìn)而引發(fā)器件失效。


責(zé)任編輯:David

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