本發(fā)明提供一種射頻控制系統(tǒng).RF電源系統(tǒng)用于將RF功率周期性傳輸至負(fù)載.功率放大器將RF信號(hào)輸出至該負(fù)載.傳感器測(cè)量提供至該負(fù)載的RF信號(hào)并輸出根據(jù)該RF信號(hào)而改變的信號(hào).第一反饋回路能夠基于由傳感器的輸出確定的功率來(lái)控制該RF信號(hào).第二反饋回路能夠基于由傳感器輸出的信號(hào)測(cè)量的能量來(lái)控制該RF信號(hào).能量振幅和持續(xù)時(shí)間提供用于改變?cè)揜F信號(hào)的控制值.控制系統(tǒng)和技術(shù)方案適用于脈沖RF電源和各種連續(xù)波電源實(shí)例.