矽翔微機電系統(tǒng)有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）2003年成立于美國加州硅谷。矽翔公司設(shè)計和生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計，核心部件MEMS流量芯片及其專利封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體流量計量和測控。近年來公司發(fā)明了熱飛行時間微流測控技術(shù)、場壓力傳感技術(shù)和MEMS渦街流量技術(shù)，為傳統(tǒng)的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。矽翔公司基于MEMS 技術(shù)的流量芯片廣泛應(yīng)用于多種醫(yī)療設(shè)備（ 如：呼吸機、麻醉機、個人呼吸機、內(nèi)窺鏡、伽馬醫(yī)療設(shè)備、哮喘監(jiān)測、藥物輸送、肺功能儀等），醫(yī)院中心供氧、制氧設(shè)備、分床計費系統(tǒng)，工業(yè)制造業(yè)用氣測量及過程控制，環(huán)保行業(yè)大氣監(jiān)測及分析、食品飲料加工，科學(xué)氣體分析儀器 ，半導(dǎo)體設(shè)備， 樓宇自控，民用健身與保健設(shè)備 ，家電生產(chǎn)工藝控制 ，汽車生產(chǎn)工藝控制，農(nóng)林漁業(yè)養(yǎng)殖等領(lǐng)域；在全新的燃料電池等尖端科技領(lǐng)域亦有應(yīng)用。