功率半導(dǎo)體是什么


功率半導(dǎo)體是什么? (What is Power Semiconductor?)
功率半導(dǎo)體:現(xiàn)代電力電子系統(tǒng)的核心
功率半導(dǎo)體,作為電力電子技術(shù)領(lǐng)域不可或缺的基石,是實(shí)現(xiàn)電能高效轉(zhuǎn)換、控制和管理的關(guān)鍵器件。它們與我們?nèi)粘I钪惺褂玫男盘?hào)處理、信息傳輸?shù)阮I(lǐng)域的微電子器件截然不同,功率半導(dǎo)體主要用于處理高電壓和大電流,其核心功能在于充當(dāng)“電力開關(guān)”,以極高的效率將電能從一種形式轉(zhuǎn)換為另一種形式,或?qū)﹄娔苓M(jìn)行精確控制。從為電動(dòng)汽車提供動(dòng)力,到驅(qū)動(dòng)工業(yè)電機(jī),再到為智能電網(wǎng)提供穩(wěn)定電源,功率半導(dǎo)體無(wú)處不在,默默支撐著現(xiàn)代社會(huì)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)和技術(shù)進(jìn)步。它們的出現(xiàn)和發(fā)展,極大地推動(dòng)了電力電子技術(shù)從傳統(tǒng)笨重的機(jī)械式控制向高效、緊湊、智能化的方向邁進(jìn)。
功率半導(dǎo)體的獨(dú)特之處在于其在極端電應(yīng)力下工作的能力,這包括承受數(shù)百甚至數(shù)千伏的電壓,以及數(shù)十到數(shù)千安培的電流。為了應(yīng)對(duì)這種嚴(yán)苛的工作環(huán)境,功率半導(dǎo)體在材料選擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造工藝上都有著嚴(yán)格而特殊的要求。它們通常由硅(Si)、碳化硅(SiC)或氮化鎵(GaN)等半導(dǎo)體材料制成,這些材料各自擁有獨(dú)特的物理特性,使其適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)景。隨著對(duì)能源效率和系統(tǒng)性能要求的不斷提高,功率半導(dǎo)體技術(shù)正朝著更高功率密度、更低損耗、更高頻率以及更智能化集成的方向發(fā)展。
功率半導(dǎo)體的基本原理與工作模式
功率半導(dǎo)體的核心工作原理是利用半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率可控性。通過(guò)施加外部電壓或電流,可以精確控制這些器件的導(dǎo)通與截止?fàn)顟B(tài),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)電流的“開關(guān)”操作。這種開關(guān)行為是電力電子轉(zhuǎn)換和控制的基礎(chǔ)。
PN結(jié):功率半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)
幾乎所有的功率半導(dǎo)體器件都離不開PN結(jié)。PN結(jié)是由P型半導(dǎo)體(多數(shù)載流子為空穴)和N型半導(dǎo)體(多數(shù)載流子為自由電子)在同一塊半導(dǎo)體材料中形成的界面。當(dāng)P型和N型半導(dǎo)體接觸時(shí),由于載流子濃度的差異,電子從N區(qū)擴(kuò)散到P區(qū),空穴從P區(qū)擴(kuò)散到N區(qū),形成一個(gè)耗盡層。這個(gè)耗盡層內(nèi)部存在一個(gè)內(nèi)建電場(chǎng),阻止載流子進(jìn)一步擴(kuò)散,從而建立一個(gè)電位差。
正向偏置: 當(dāng)外部電壓的正極連接P區(qū),負(fù)極連接N區(qū)時(shí),外部電場(chǎng)與內(nèi)建電場(chǎng)方向相反,削弱了內(nèi)建電場(chǎng)。當(dāng)外部電壓達(dá)到一定閾值(通常為二極管的導(dǎo)通電壓,如硅二極管的0.7V),耗盡層變窄,載流子能夠大量穿越PN結(jié),器件導(dǎo)通,表現(xiàn)出低電阻特性,允許大電流通過(guò)。
反向偏置: 當(dāng)外部電壓的正極連接N區(qū),負(fù)極連接P區(qū)時(shí),外部電場(chǎng)與內(nèi)建電場(chǎng)方向相同,增強(qiáng)了內(nèi)建電場(chǎng)。耗盡層變寬,載流子無(wú)法有效穿越PN結(jié),器件截止,表現(xiàn)出高電阻特性,只允許極小的漏電流通過(guò)。
這種單向?qū)щ娦允撬卸O管的特性,也是許多更復(fù)雜功率半導(dǎo)體器件(如晶體管)工作的基礎(chǔ)。功率半導(dǎo)體中的PN結(jié)需要能夠承受高反向電壓,因此其耗盡層通常比信號(hào)二極管更厚,并且摻雜濃度也經(jīng)過(guò)優(yōu)化以確保其在高壓下仍能保持良好的阻斷能力。
功率半導(dǎo)體的開關(guān)特性
功率半導(dǎo)體器件最核心的功能是其開關(guān)特性。這意味著它們可以在導(dǎo)通(開態(tài))和截止(關(guān)態(tài))兩種狀態(tài)之間快速轉(zhuǎn)換。
導(dǎo)通狀態(tài)(On-State): 在導(dǎo)通狀態(tài)下,器件的電阻極小,允許大電流通過(guò),此時(shí)器件兩端的電壓降很小,因此產(chǎn)生的功耗也相對(duì)較低。理想的開關(guān)在導(dǎo)通時(shí)電壓降為零,但實(shí)際器件會(huì)有一定的導(dǎo)通壓降(V_ON),從而產(chǎn)生導(dǎo)通損耗(P_ON = V_ON × I_ON)。
截止?fàn)顟B(tài)(Off-State): 在截止?fàn)顟B(tài)下,器件的電阻極大,幾乎沒(méi)有電流通過(guò),此時(shí)器件能夠承受高電壓。理想的開關(guān)在截止時(shí)漏電流為零,但實(shí)際器件會(huì)有微小的漏電流(I_LEAKAGE),導(dǎo)致截止損耗(P_OFF = V_BLOCK × I_LEAKAGE)。
開關(guān)過(guò)程(Switching): 從導(dǎo)通到截止,或從截止到導(dǎo)通的轉(zhuǎn)換過(guò)程稱為開關(guān)過(guò)程。這個(gè)過(guò)程雖然時(shí)間很短,但在轉(zhuǎn)換期間,器件兩端同時(shí)存在較高的電壓和電流,因此會(huì)產(chǎn)生顯著的開關(guān)損耗。開關(guān)損耗的大小與開關(guān)速度、電壓電流的上升下降速率、器件的存儲(chǔ)電荷等因素有關(guān)。高速開關(guān)是減少開關(guān)損耗的關(guān)鍵,這也是為什么現(xiàn)代功率半導(dǎo)體器件都在追求更高的開關(guān)頻率。
功率半導(dǎo)體的工作模式
功率半導(dǎo)體器件通常在以下兩種主要工作模式下運(yùn)行:
開關(guān)模式(Switching Mode): 這是功率半導(dǎo)體最常見(jiàn)的工作模式。器件在導(dǎo)通和截止?fàn)顟B(tài)之間快速切換,以實(shí)現(xiàn)電能的轉(zhuǎn)換和控制。例如,在開關(guān)電源中,功率半導(dǎo)體以高頻開關(guān)的方式將直流電壓轉(zhuǎn)換為另一種直流電壓,或?qū)⒔涣麟妷恨D(zhuǎn)換為直流電壓。這種模式的優(yōu)勢(shì)在于高效率,因?yàn)槠骷蟛糠謺r(shí)間工作在導(dǎo)通或截止?fàn)顟B(tài),功耗相對(duì)較小。
線性模式(Linear Mode): 少數(shù)情況下,功率半導(dǎo)體也會(huì)工作在線性模式下,例如在電壓穩(wěn)壓器或音頻放大器中。在這種模式下,器件的電阻處于可變狀態(tài),用于調(diào)整輸出電壓或電流。然而,線性模式的效率較低,因?yàn)槠骷趯?dǎo)通和截止之間存在一個(gè)過(guò)渡區(qū)域,此時(shí)電壓和電流都較大,導(dǎo)致功耗顯著增加。因此,在需要高效率的應(yīng)用中,通常會(huì)避免線性模式。
理解這些基本原理和工作模式,是深入探討各種具體功率半導(dǎo)體器件(如二極管、晶體管)及其應(yīng)用的基礎(chǔ)。正是這些精巧的設(shè)計(jì)和控制,使得功率半導(dǎo)體能夠勝任各種復(fù)雜的電力電子任務(wù)。
功率半導(dǎo)體的分類與主要類型
功率半導(dǎo)體器件種類繁多,但根據(jù)其控制方式和內(nèi)部結(jié)構(gòu),可以大致分為兩大類:不可控器件和可控器件。
1. 不可控器件:功率二極管
功率二極管是最簡(jiǎn)單也最基礎(chǔ)的功率半導(dǎo)體器件。它只有一個(gè)PN結(jié),具有單向?qū)щ娦?,一旦施加正向電壓達(dá)到導(dǎo)通閾值,就會(huì)自動(dòng)導(dǎo)通;一旦施加反向電壓,就會(huì)自動(dòng)截止。其導(dǎo)通和截止?fàn)顟B(tài)不能通過(guò)外部控制信號(hào)來(lái)主動(dòng)改變。
結(jié)構(gòu)與原理: 功率二極管的核心是一個(gè)經(jīng)過(guò)優(yōu)化的PN結(jié)。為了承受高反向電壓,N區(qū)通常是高電阻率的漂移區(qū)(Drift Region),這使得在反向偏置時(shí),耗盡層能夠擴(kuò)展到更寬的區(qū)域,從而分散電場(chǎng)強(qiáng)度,提高擊穿電壓。同時(shí),P區(qū)和N+區(qū)(重?fù)诫sN區(qū))形成低阻抗接觸,以利于正向?qū)ā?/span>
分類:
通用型二極管(General Purpose Diode): 開關(guān)速度相對(duì)較慢,但電流容量大,常用于低頻整流電路,如電源整流、電解槽整流等。
快速恢復(fù)二極管(Fast Recovery Diode): 具有較快的反向恢復(fù)時(shí)間(trr),這意味著它從導(dǎo)通到截止的速度更快,減少了開關(guān)損耗。常用于開關(guān)電源、變頻器等高頻應(yīng)用中。
超快速恢復(fù)二極管(Ultra-Fast Recovery Diode): 比快速恢復(fù)二極管具有更短的反向恢復(fù)時(shí)間,適用于更高頻率的應(yīng)用。
肖特基二極管(Schottky Diode): 利用金屬與半導(dǎo)體形成的肖特基結(jié),其正向壓降低,開關(guān)速度極快,幾乎沒(méi)有反向恢復(fù)電流。但反向耐壓相對(duì)較低,漏電流較大。主要用于低壓大電流整流、高頻開關(guān)電源的輸出整流等。
雪崩二極管(Avalanche Diode): 在反向擊穿時(shí),電流可以均勻分布,具有一定的雪崩擊穿能力,能夠吸收瞬態(tài)過(guò)電壓能量,常用于保護(hù)電路。
應(yīng)用: 功率二極管廣泛應(yīng)用于整流電路(將交流電轉(zhuǎn)換為直流電)、續(xù)流電路(提供感性負(fù)載電流通路,防止電壓突變)、箝位電路、保護(hù)電路以及各種功率變換器中的自由輪流或反并聯(lián)二極管。
2. 可控器件:功率晶體管與晶閘管
可控器件的導(dǎo)通和截止?fàn)顟B(tài)可以通過(guò)外部電信號(hào)(通常是柵極或基極信號(hào))來(lái)精確控制。這是實(shí)現(xiàn)復(fù)雜電力電子變換和控制的基礎(chǔ)。
2.1 功率晶體管 (Power Transistors)
功率晶體管是目前最常用的功率半導(dǎo)體器件,它們通過(guò)控制一個(gè)小的信號(hào)來(lái)控制一個(gè)大的電流。
功率雙極型晶體管 (Power Bipolar Junction Transistor, Power BJT):
電流控制型器件: 需要持續(xù)的基極電流來(lái)維持導(dǎo)通狀態(tài)。
電流增益(β值)較低: 相較于小信號(hào)BJT,功率BJT的電流增益較低,這意味著需要相對(duì)較大的基極電流來(lái)驅(qū)動(dòng)。
開關(guān)速度相對(duì)較慢: 由于少數(shù)載流子效應(yīng),在開關(guān)過(guò)程中存在存儲(chǔ)時(shí)間,限制了其開關(guān)速度。
導(dǎo)通壓降較大: 飽和導(dǎo)通時(shí)集電極-發(fā)射極電壓降相對(duì)較高,導(dǎo)致導(dǎo)通損耗較大。
二次擊穿效應(yīng): 功率BJT在高電壓大電流下容易發(fā)生二次擊穿,限制了其安全工作區(qū)(SOA)。
結(jié)構(gòu)與原理: 功率BJT與小信號(hào)BJT類似,由兩個(gè)PN結(jié)組成,分為NPN和PNP型。通過(guò)基極電流來(lái)控制集電極電流。為了承受高電壓和大電流,功率BJT的基區(qū)通常設(shè)計(jì)得更寬,集電區(qū)摻雜濃度較低,漂移區(qū)較厚。
特點(diǎn):
應(yīng)用: 盡管在許多高頻高功率應(yīng)用中逐漸被MOSFET和IGBT取代,但功率BJT仍在一些中低頻、中功率應(yīng)用中占有一席之地,如DC-DC轉(zhuǎn)換器、線性穩(wěn)壓器、音頻放大器等。
功率場(chǎng)效應(yīng)晶體管 (Power Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, Power MOSFET):
增強(qiáng)型MOSFET: 在沒(méi)有柵極電壓時(shí)處于截止?fàn)顟B(tài),施加正柵極電壓后導(dǎo)通。這是最常見(jiàn)的類型。
耗盡型MOSFET: 在沒(méi)有柵極電壓時(shí)處于導(dǎo)通狀態(tài),施加負(fù)柵極電壓后截止。相對(duì)不常見(jiàn)。
電壓控制型器件: 僅需要柵極電壓來(lái)控制,驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單,靜態(tài)功耗低。
開關(guān)速度快: 理論上沒(méi)有少數(shù)載流子存儲(chǔ)效應(yīng),因此開關(guān)速度非???,可以工作在MHz級(jí)別的頻率。
無(wú)二次擊穿效應(yīng): 具有正溫度系數(shù)的導(dǎo)通電阻,使得多個(gè)MOSFET可以并聯(lián)使用以增加電流容量。
導(dǎo)通電阻(R_DS(on))隨電壓升高而增大: 在高壓大電流應(yīng)用中,導(dǎo)通電阻可能會(huì)較大,導(dǎo)致導(dǎo)通損耗增加。
體二極管(Body Diode): 大部分功率MOSFET內(nèi)部都存在一個(gè)寄生體二極管,這個(gè)二極管在某些應(yīng)用中(如同步整流)非常有用,但在某些情況下其反向恢復(fù)特性可能不理想。
結(jié)構(gòu)與原理: 功率MOSFET是一種電壓控制型器件,通過(guò)柵極電壓來(lái)控制溝道(Channel)的形成和導(dǎo)通。它通常采用垂直結(jié)構(gòu),如VDMOS(Vertical Double-diffused MOSFET)以承受高電壓。柵極與溝道之間通過(guò)一層薄的氧化層絕緣,因此柵極幾乎沒(méi)有直流電流。
特點(diǎn):
分類:
應(yīng)用: 廣泛應(yīng)用于各種高頻、中低功率到中高功率的開關(guān)電源(SMPS)、DC-DC轉(zhuǎn)換器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)、照明驅(qū)動(dòng)、通信電源等領(lǐng)域。
絕緣柵雙極型晶體管 (Insulated Gate Bipolar Transistor, IGBT):
電壓控制型器件: 像MOSFET一樣,通過(guò)柵極電壓控制。
低飽和壓降: 像BJT一樣,在導(dǎo)通時(shí)具有較低的導(dǎo)通壓降,在高壓大電流應(yīng)用中導(dǎo)通損耗較小。
高耐壓和大電流能力: 結(jié)合了MOSFET和BJT的優(yōu)點(diǎn),適用于中高壓、大電流的應(yīng)用。
開關(guān)速度介于MOSFET和BJT之間: 存在少數(shù)載流子效應(yīng),因此開關(guān)速度不如MOSFET快,但優(yōu)于BJT。
尾電流(Tail Current): 在關(guān)斷過(guò)程中存在一個(gè)由少數(shù)載流子復(fù)合引起的“尾電流”,導(dǎo)致關(guān)斷損耗。
安全工作區(qū)(SOA)寬: 相對(duì)于BJT,具有更寬的安全工作區(qū)。
結(jié)構(gòu)與原理: IGBT是MOSFET和BJT的結(jié)合體。它具有MOSFET的輸入特性(電壓控制)和BJT的輸出特性(低飽和壓降)。其結(jié)構(gòu)是在MOSFET的漏極端增加了一個(gè)P+集電區(qū),形成PNPN結(jié)構(gòu)。柵極通過(guò)氧化層絕緣,控制一個(gè)PNP型晶體管的基極電流。
特點(diǎn):
分類: 根據(jù)不同的導(dǎo)電類型和關(guān)斷特性,IGBT分為穿通型(PT)和非穿通型(NPT),以及場(chǎng)截止型(FS)等。
應(yīng)用: IGBT是目前中高壓、大功率電力電子應(yīng)用的主流器件,廣泛應(yīng)用于變頻器(電機(jī)驅(qū)動(dòng))、不間斷電源(UPS)、風(fēng)力發(fā)電、太陽(yáng)能逆變器、軌道交通、電動(dòng)汽車、感應(yīng)加熱等領(lǐng)域。
2.2 晶閘管 (Thyristor)
晶閘管,也稱為可控硅整流器(SCR),是一種具有四個(gè)PN結(jié)的四層半導(dǎo)體器件(PNPN結(jié)構(gòu))。它是一種半控型器件。
結(jié)構(gòu)與原理: 晶閘管具有陽(yáng)極(Anode)、陰極(Cathode)和柵極(Gate)三個(gè)電極。它只有在陽(yáng)極-陰極間施加正向電壓,并且柵極施加一個(gè)正向觸發(fā)脈沖時(shí),才能導(dǎo)通。一旦導(dǎo)通,即使撤去柵極信號(hào),只要陽(yáng)極電流大于維持電流,器件就會(huì)保持導(dǎo)通狀態(tài)。要使其關(guān)斷,必須使陽(yáng)極電流降到維持電流以下(例如通過(guò)外部電路強(qiáng)制關(guān)斷或等待交流電過(guò)零)。
特點(diǎn):
自鎖特性: 一旦導(dǎo)通,就會(huì)保持導(dǎo)通,直到電流降到維持電流以下。
高耐壓、大電流能力: 能夠承受很高的電壓和通過(guò)很大的電流。
開關(guān)速度慢: 由于內(nèi)部載流子存儲(chǔ)效應(yīng),其開關(guān)速度非常慢,不適合高頻開關(guān)應(yīng)用。
控制簡(jiǎn)單: 只需要一個(gè)觸發(fā)脈沖即可導(dǎo)通。
分類:
單向晶閘管(SCR): 最常見(jiàn)的晶閘管,只能單向?qū)щ姾涂刂啤?/span>
雙向晶閘管(TRIAC): 可以在兩個(gè)方向上導(dǎo)通和控制,相當(dāng)于兩個(gè)反并聯(lián)的SCR,常用于交流調(diào)壓、調(diào)光等應(yīng)用。
門極可關(guān)斷晶閘管(GTO): 門極除了可以觸發(fā)導(dǎo)通外,還可以施加負(fù)脈沖使其關(guān)斷,解決了傳統(tǒng)晶閘管無(wú)法主動(dòng)關(guān)斷的缺點(diǎn),但驅(qū)動(dòng)電路復(fù)雜。已被IGBT大量取代。
集成門極換流晶閘管(IGCT): 結(jié)合了GTO和IGBT的優(yōu)點(diǎn),在高功率應(yīng)用中有其優(yōu)勢(shì)。
應(yīng)用: 由于其高耐壓和大電流能力以及自鎖特性,晶閘管主要應(yīng)用于中低頻、大功率的電力控制領(lǐng)域,如高壓直流輸電(HVDC)、軟啟動(dòng)器、電機(jī)調(diào)速、靜止無(wú)功補(bǔ)償器(SVC)、固態(tài)繼電器(SSR)、電爐加熱控制等。
功率半導(dǎo)體材料的演進(jìn):從硅到寬禁帶半導(dǎo)體
功率半導(dǎo)體材料是決定器件性能和應(yīng)用范圍的根本。傳統(tǒng)的功率半導(dǎo)體器件主要基于硅(Si)材料,但隨著技術(shù)發(fā)展和性能要求的提升,以碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)為代表的寬禁帶半導(dǎo)體(Wide Bandgap, WBG)材料正逐漸成為新的主流。
1. 硅(Si)基功率半導(dǎo)體
硅是半導(dǎo)體工業(yè)的基石,也是目前最成熟、應(yīng)用最廣泛的半導(dǎo)體材料。其豐富的儲(chǔ)量、優(yōu)良的加工性能以及完善的產(chǎn)業(yè)鏈,使得硅基功率半導(dǎo)體器件(如硅基MOSFET、IGBT、二極管)在過(guò)去幾十年中占據(jù)主導(dǎo)地位。
特點(diǎn):
成熟的工藝技術(shù): 硅晶圓制造、摻雜、刻蝕等工藝技術(shù)高度成熟,生產(chǎn)成本相對(duì)較低。
廣泛的應(yīng)用范圍: 能夠覆蓋從低壓到高壓、小功率到大功率的絕大多數(shù)應(yīng)用場(chǎng)景。
良好的熱穩(wěn)定性: 在一定溫度范圍內(nèi)性能穩(wěn)定。
局限性:
較低的禁帶寬度(1.12 eV): 導(dǎo)致其在高溫下性能下降,漏電流增大。
較低的臨界擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度(約0.3 MV/cm): 為了實(shí)現(xiàn)高耐壓,需要較厚的漂移區(qū),從而導(dǎo)致導(dǎo)通電阻增大,器件尺寸變大。
較低的電子飽和漂移速率: 限制了其在高頻下的開關(guān)速度,導(dǎo)致較高的開關(guān)損耗。
較高的熱導(dǎo)率(1.5 W/cm·K): 相對(duì)于寬禁帶材料,散熱能力略顯不足。
盡管有這些局限性,硅基功率半導(dǎo)體在許多領(lǐng)域仍是無(wú)可替代的選擇,特別是在對(duì)成本敏感、性能要求適中的應(yīng)用中。然而,隨著對(duì)更高效率、更高功率密度、更小尺寸和更極端工作環(huán)境需求的增長(zhǎng),硅的物理極限逐漸顯現(xiàn)。
2. 寬禁帶半導(dǎo)體(Wide Bandgap, WBG)
寬禁帶半導(dǎo)體是指禁帶寬度遠(yuǎn)大于硅(通常大于2 eV)的半導(dǎo)體材料。其中,碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)是目前最受關(guān)注的兩種。寬禁帶材料的物理特性使其在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢(shì)。
共同優(yōu)勢(shì):
更高的禁帶寬度: 使得器件能在更高溫度下工作,降低漏電流,提高可靠性。
更高的臨界擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度: 允許器件在相同耐壓下具有更薄的漂移區(qū),從而顯著降低導(dǎo)通電阻,減小芯片面積。
更高的電子飽和漂移速率: 意味著更高的開關(guān)頻率和更快的開關(guān)速度,從而大幅降低開關(guān)損耗。
更高的熱導(dǎo)率: 有利于器件散熱,提高功率密度。
這些優(yōu)勢(shì)使得寬禁帶功率半導(dǎo)體在相同功率等級(jí)下,能夠?qū)崿F(xiàn)更小的體積、更輕的重量、更高的效率以及更優(yōu)異的高溫性能。
2.1 碳化硅(SiC)功率半導(dǎo)體
SiC是一種化合物半導(dǎo)體,具有多種同質(zhì)異構(gòu)體,其中4H-SiC是目前最適合制造功率器件的晶型。SiC器件主要包括SiC肖特基二極管(SBD)、SiC MOSFET和SiC JFET(結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管)。
SiC的物理特性(與Si對(duì)比):
禁帶寬度: 3.26 eV(4H-SiC),遠(yuǎn)大于Si。
臨界擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度: 2.2~4 MV/cm,是Si的10倍以上。
電子飽和漂移速率: 2.0 × 10^7 cm/s,是Si的2倍。
熱導(dǎo)率: 3.7~4.9 W/cm·K,是Si的3倍以上。
SiC功率器件的優(yōu)勢(shì):
極低的導(dǎo)通電阻: 在相同耐壓下,SiC MOSFET的導(dǎo)通電阻可比Si MOSFET低一個(gè)數(shù)量級(jí)。
極快的開關(guān)速度: 幾乎無(wú)反向恢復(fù)電流(SiC SBD)或極小的柵極電荷(SiC MOSFET),大大降低開關(guān)損耗,支持更高開關(guān)頻率。
優(yōu)異的高溫性能: 能夠在高達(dá)200°C甚至更高溫度下穩(wěn)定工作。
高可靠性: 在惡劣環(huán)境下表現(xiàn)出更好的穩(wěn)定性。
SiC功率器件的劣勢(shì):
成本較高: SiC晶圓生長(zhǎng)困難,缺陷率高,加工難度大,導(dǎo)致制造成本遠(yuǎn)高于硅基器件。
驅(qū)動(dòng)和保護(hù)電路更復(fù)雜: 由于其超快的開關(guān)速度,需要更精密的驅(qū)動(dòng)和布局設(shè)計(jì)來(lái)抑制寄生效應(yīng)。
可靠性驗(yàn)證仍在進(jìn)行中: 盡管已廣泛應(yīng)用,但長(zhǎng)期可靠性數(shù)據(jù)仍在積累。
應(yīng)用: SiC功率器件在高壓、大功率、高頻領(lǐng)域顯示出巨大潛力,已廣泛應(yīng)用于電動(dòng)汽車(車載充電器、逆變器)、光伏逆變器、風(fēng)力發(fā)電、大功率電源、數(shù)據(jù)中心電源、充電樁、軌道交通等。
2.2 氮化鎵(GaN)功率半導(dǎo)體
GaN是另一種重要的寬禁帶半導(dǎo)體,主要以HEMT(高電子遷移率晶體管)結(jié)構(gòu)的形式應(yīng)用于功率器件,其中最常見(jiàn)的是GaN HEMT。
GaN的物理特性(與Si對(duì)比):
禁帶寬度: 3.4 eV,與SiC相當(dāng)。
臨界擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度: 3.3 MV/cm,是Si的10倍以上。
電子飽和漂移速率: 2.5 × 10^7 cm/s,是Si的2.5倍。
電子遷移率: 1500~2000 cm2/V·s,遠(yuǎn)高于Si和SiC,使得其溝道電阻極低。
熱導(dǎo)率: 1.3 W/cm·K,與Si接近,但低于SiC。
GaN功率器件的優(yōu)勢(shì):
極低的導(dǎo)通電阻: 高電子遷移率和二維電子氣(2DEG)效應(yīng)使得GaN HEMT具有極低的導(dǎo)通電阻,尤其在低壓應(yīng)用中表現(xiàn)出色。
極快的開關(guān)速度: 由于是多數(shù)載流子器件,幾乎沒(méi)有反向恢復(fù)損耗,寄生電容小,支持極高開關(guān)頻率(可達(dá)幾十MHz)。
高功率密度: 極高的效率和開關(guān)頻率允許使用更小的無(wú)源元件(電感、電容),從而實(shí)現(xiàn)更高的功率密度和更緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
集成度更高: GaN工藝更適合集成驅(qū)動(dòng)電路和保護(hù)功能,實(shí)現(xiàn)“單芯片”解決方案。
GaN功率器件的劣勢(shì):
耐壓相對(duì)較低: 目前GaN器件主要集中在600V以下的中低壓應(yīng)用,更高耐壓的GaN器件仍在發(fā)展中。
成本: 相對(duì)于Si,GaN器件成本仍較高,但隨著技術(shù)成熟和規(guī)?;a(chǎn),成本正在下降。
通常為增強(qiáng)型HEMT(D-mode): 大多數(shù)商用GaN HEMT是耗盡型(D-mode),這意味著在沒(méi)有柵極電壓時(shí)處于導(dǎo)通狀態(tài),這在功率應(yīng)用中不安全。因此,通常會(huì)采用cascode結(jié)構(gòu)(與低壓Si MOSFET串聯(lián))或開發(fā)增強(qiáng)型(E-mode)GaN HEMT。
應(yīng)用: GaN功率器件在消費(fèi)電子(手機(jī)快充、筆記本電源適配器)、數(shù)據(jù)中心電源(服務(wù)器電源)、通信電源、激光雷達(dá)(LiDAR)、無(wú)線充電、LED驅(qū)動(dòng)、汽車電子(部分低壓應(yīng)用)等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大優(yōu)勢(shì)。
3. 材料展望
未來(lái),硅、SiC和GaN三種材料將長(zhǎng)期共存,并各自在不同的功率等級(jí)和應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)揮作用。
硅: 將繼續(xù)主導(dǎo)中低端、成本敏感的應(yīng)用市場(chǎng)。
SiC: 將在中高壓(600V以上)、大功率、高頻應(yīng)用中占據(jù)主導(dǎo)地位,特別是在電動(dòng)汽車、工業(yè)電源和可再生能源領(lǐng)域。
GaN: 將在中低壓(600V以下)、超高頻、高功率密度應(yīng)用中發(fā)揮關(guān)鍵作用,特別是在消費(fèi)電子、數(shù)據(jù)中心和通信領(lǐng)域。
同時(shí),其他超寬禁帶半導(dǎo)體材料,如氧化鎵(Ga2O3)、金剛石等,也正在研究中,它們有望在未來(lái)突破SiC和GaN的極限,實(shí)現(xiàn)更高的性能。材料科學(xué)的不斷進(jìn)步將持續(xù)推動(dòng)功率半導(dǎo)體技術(shù)的革新。
功率半導(dǎo)體封裝技術(shù)
封裝是功率半導(dǎo)體器件的重要組成部分,其作用遠(yuǎn)不止提供物理保護(hù)。一個(gè)優(yōu)秀的封裝不僅能有效散熱、降低寄生參數(shù)、提高可靠性,還能減小器件尺寸,從而提升整個(gè)電力電子系統(tǒng)的性能和集成度。隨著功率密度和開關(guān)頻率的不斷提高,封裝技術(shù)面臨著前所未有的挑戰(zhàn)。
1. 封裝的重要性
散熱: 功率半導(dǎo)體在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱量(導(dǎo)通損耗、開關(guān)損耗),必須通過(guò)封裝有效地將熱量散發(fā)出去,以避免器件過(guò)熱失效。良好的散熱是保證器件長(zhǎng)期可靠運(yùn)行的關(guān)鍵。
電氣連接: 封裝提供芯片與外部電路之間的電氣連接,包括引線鍵合(wire bonding)、銅帶鍵合(copper clip bonding)或倒裝芯片(flip-chip)等技術(shù)。這些連接必須具有低電阻、低電感,以最大限度地減少導(dǎo)通損耗和開關(guān)噪聲。
機(jī)械保護(hù): 封裝為嬌弱的半導(dǎo)體芯片提供機(jī)械支撐和保護(hù),防止其受到外部物理?yè)p傷。
絕緣: 封裝材料提供必要的電絕緣,防止器件與外部環(huán)境或相鄰器件之間發(fā)生短路。
寄生參數(shù): 封裝內(nèi)部的引線、焊盤等結(jié)構(gòu)會(huì)引入寄生電感和寄生電容。在高頻應(yīng)用中,這些寄生參數(shù)會(huì)嚴(yán)重影響器件的開關(guān)性能,引起電壓過(guò)沖、電流振蕩等問(wèn)題,甚至導(dǎo)致器件失效。因此,低寄生封裝至關(guān)重要。
可靠性: 封裝的材料和工藝直接影響器件在溫度循環(huán)、濕度、震動(dòng)等環(huán)境下的長(zhǎng)期可靠性。
尺寸與集成度: 封裝尺寸直接影響最終產(chǎn)品的尺寸。先進(jìn)封裝技術(shù)追求更高的功率密度和更小的外形尺寸,同時(shí)為集成更多功能(如集成驅(qū)動(dòng)、傳感、保護(hù))提供可能性。
2. 傳統(tǒng)功率半導(dǎo)體封裝類型
早期的功率半導(dǎo)體封裝多采用塑料或陶瓷封裝,如TO(Transistor Outline)系列和DIP(Dual In-line Package)系列。
TO-220、TO-247、TO-3P等: 這些是常見(jiàn)的通孔(Through-hole)封裝,通常用于中低功率器件,例如硅基MOSFET、IGBT和二極管。它們具有引腳可穿過(guò)PCB板的孔,易于手工焊接,并通常帶有金屬散熱片,方便安裝到外部散熱器。
優(yōu)點(diǎn): 成本低,易于制造和組裝,散熱片有利于外部散熱。
缺點(diǎn): 寄生電感相對(duì)較大,不利于高頻應(yīng)用;占用PCB空間較大;自動(dòng)化組裝難度較高。
D2PAK、TO-263等(SMD類型): 這些是表面貼裝(Surface Mount Device, SMD)封裝,適用于中低功率器件。它們可以直接貼裝在PCB表面,通過(guò)PCB銅箔進(jìn)行散熱。
優(yōu)點(diǎn): 占用PCB空間小,適合自動(dòng)化組裝,寄生電感相對(duì)TO系列有所降低。
缺點(diǎn): 散熱路徑依賴PCB,在高功率下散熱能力受限。
模塊封裝(Module Package): 對(duì)于大功率應(yīng)用,如工業(yè)變頻器、軌道交通、風(fēng)力發(fā)電等,通常采用獨(dú)立的模塊封裝。這些模塊內(nèi)部集成了多個(gè)功率芯片(如IGBT、二極管),并采用復(fù)雜的內(nèi)部互連和散熱結(jié)構(gòu)(如銅基板、陶瓷基板),通常還集成了溫度傳感器。
優(yōu)點(diǎn): 功率密度高,散熱能力強(qiáng),可靠性高,簡(jiǎn)化了系統(tǒng)設(shè)計(jì)和組裝。
缺點(diǎn): 尺寸較大,成本較高,內(nèi)部寄生參數(shù)仍是挑戰(zhàn)。
3. 先進(jìn)功率半導(dǎo)體封裝技術(shù)
隨著對(duì)性能和集成度要求的不斷提高,新的封裝技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。
無(wú)引線封裝(Leadless Package): 如DFN(Dual Flat No-leads)、QFN(Quad Flat No-leads)等。這些封裝沒(méi)有傳統(tǒng)的引線,通過(guò)底部的焊盤直接連接PCB,大大減小了寄生電感和封裝尺寸。
優(yōu)點(diǎn): 極低的寄生電感,非常適合高頻GaN/SiC器件;尺寸小,功率密度高。
缺點(diǎn): 散熱性能對(duì)PCB設(shè)計(jì)要求高;組裝難度相對(duì)較大。
倒裝芯片封裝(Flip-Chip Package): 芯片直接倒置,通過(guò)焊球或銅柱與基板連接,而不是通過(guò)引線鍵合。這種封裝方式可以顯著縮短電流路徑,降低寄生電感和電阻。
優(yōu)點(diǎn): 極低的寄生參數(shù),優(yōu)異的電氣性能;更高的功率密度。
缺點(diǎn): 工藝復(fù)雜,成本較高;對(duì)芯片表面平整度要求高。
燒結(jié)技術(shù)(Sintering Technology): 傳統(tǒng)的芯片粘接通常使用焊料。燒結(jié)技術(shù)(如銀燒結(jié))通過(guò)在低溫下形成固相連接,具有更高的熔點(diǎn)和導(dǎo)熱性,從而提高了連接的可靠性和散熱性能。
優(yōu)點(diǎn): 更高的熱導(dǎo)率,更強(qiáng)的抗熱疲勞能力,提高器件的壽命和可靠性。
缺點(diǎn): 工藝復(fù)雜,成本高。
嵌入式封裝(Embedded Packaging): 將功率芯片直接嵌入到PCB基板中,或者通過(guò)引線框、層壓板等方式形成高度集成的模塊。這種技術(shù)可以進(jìn)一步縮短連接路徑,減小寄生效應(yīng),并有利于集成更多功能。
優(yōu)點(diǎn): 極低的寄生參數(shù),最高水平的功率密度和集成度,更優(yōu)異的散熱性能。
缺點(diǎn): 工藝極其復(fù)雜,成本高昂,可修復(fù)性差。
扇出型晶圓級(jí)封裝(Fan-Out Wafer-Level Packaging, FOWLP): 芯片切割后重新排列到更大尺寸的晶圓上,然后進(jìn)行封裝,可以實(shí)現(xiàn)更多I/O、更小尺寸和更好的散熱。
優(yōu)點(diǎn): 高度集成,更小的尺寸,更低的寄生參數(shù)。
缺點(diǎn): 技術(shù)復(fù)雜,成本較高。
無(wú)鍵合線封裝(Wire-bond-less Packaging): 采用銅片(Copper Clip)或倒裝芯片等方式取代傳統(tǒng)的引線鍵合,進(jìn)一步降低寄生電感,提高電流承載能力和散熱效率。
優(yōu)點(diǎn): 顯著降低寄生電感,提高電流密度和散熱效率。
缺點(diǎn): 工藝要求高,成本可能增加。
4. 熱管理:封裝的關(guān)鍵挑戰(zhàn)
隨著功率密度的提高,器件產(chǎn)生的熱量也隨之增加。有效的熱管理是封裝設(shè)計(jì)的核心。
散熱路徑優(yōu)化: 設(shè)計(jì)最佳的熱傳導(dǎo)路徑,使熱量從芯片內(nèi)部高效地傳遞到封裝外部的散熱器或環(huán)境。
低熱阻材料: 選用高導(dǎo)熱率的封裝材料,如銅、氮化鋁、氧化鋁陶瓷等,以及高導(dǎo)熱的界面材料(TIM)。
結(jié)構(gòu)創(chuàng)新: 引入液冷散熱、微通道散熱、熱管等先進(jìn)散熱技術(shù),特別是對(duì)于超大功率模塊。
溫度傳感器集成: 在封裝內(nèi)部集成溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)芯片溫度,實(shí)現(xiàn)過(guò)溫保護(hù)和熱管理優(yōu)化。
未來(lái),功率半導(dǎo)體封裝技術(shù)將繼續(xù)向著更低寄生、更高效率、更高集成度、更優(yōu)散熱和更低成本的方向發(fā)展,以滿足日益增長(zhǎng)的電力電子系統(tǒng)需求。
功率半導(dǎo)體驅(qū)動(dòng)與保護(hù)技術(shù)
功率半導(dǎo)體器件的性能能否充分發(fā)揮,以及系統(tǒng)能否穩(wěn)定可靠運(yùn)行,很大程度上取決于其驅(qū)動(dòng)和保護(hù)電路的設(shè)計(jì)。
1. 功率半導(dǎo)體驅(qū)動(dòng)技術(shù)
驅(qū)動(dòng)電路負(fù)責(zé)將微控制器或DSP產(chǎn)生的低壓控制信號(hào)轉(zhuǎn)換為足以驅(qū)動(dòng)功率器件導(dǎo)通和關(guān)斷的高壓、大電流信號(hào)。驅(qū)動(dòng)電路的性能直接影響功率器件的開關(guān)速度、損耗和可靠性。
柵極驅(qū)動(dòng)的重要性:
提供足夠的柵極電荷: 驅(qū)動(dòng)電路必須提供足夠的瞬時(shí)電流來(lái)快速充放電柵極電容(Cgs, Cgd),以實(shí)現(xiàn)快速開關(guān)。柵極電荷(Qg)是衡量驅(qū)動(dòng)難度的重要參數(shù)。
控制開關(guān)速度: 通過(guò)調(diào)節(jié)柵極電阻(Rg),可以控制柵極電流,從而調(diào)整電壓和電流的上升/下降速率,優(yōu)化開關(guān)損耗和EMI(電磁干擾)之間的平衡。
提供合適的柵極電壓: 確保柵極電壓在器件規(guī)定的范圍內(nèi),避免過(guò)壓或欠壓,如MOSFET和IGBT需要正向偏置以導(dǎo)通,并通常需要負(fù)向偏置或零電壓以可靠關(guān)斷。
隔離: 在許多應(yīng)用中,功率器件的高壓側(cè)需要與低壓控制側(cè)進(jìn)行電氣隔離,以確保人員安全和系統(tǒng)正常運(yùn)行。
常見(jiàn)的驅(qū)動(dòng)方案:
隔離型柵極驅(qū)動(dòng)IC: 內(nèi)部集成磁隔離、光隔離或容性隔離技術(shù),實(shí)現(xiàn)高壓側(cè)和低壓側(cè)的電氣隔離。對(duì)于高壓應(yīng)用(如IGBT驅(qū)動(dòng))至關(guān)重要。
非隔離型柵極驅(qū)動(dòng)IC: 用于不需要隔離的低壓側(cè)驅(qū)動(dòng)或半橋驅(qū)動(dòng)。
分立元件驅(qū)動(dòng): 由晶體管、電阻、電容等分立元件搭建的驅(qū)動(dòng)電路。適用于簡(jiǎn)單的低成本應(yīng)用。
柵極驅(qū)動(dòng)IC(Gate Driver IC): 專用集成電路,內(nèi)部集成了電平轉(zhuǎn)換、電流放大、欠壓鎖定(UVLO)、過(guò)流保護(hù)等功能。極大地簡(jiǎn)化了驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì),提高了性能和可靠性。
驅(qū)動(dòng)器電源: 驅(qū)動(dòng)電路需要獨(dú)立的、通常是浮動(dòng)的電源來(lái)供電,以適應(yīng)功率器件源極或發(fā)射極電壓的變化。這通常通過(guò)隔離式DC-DC轉(zhuǎn)換器或自舉電路(Bootstrap Circuit)實(shí)現(xiàn)。
SiC/GaN器件的驅(qū)動(dòng)挑戰(zhàn):
更高的開關(guān)速度: SiC/GaN器件的開關(guān)速度極快,需要驅(qū)動(dòng)電路具有更小的寄生電感、更快的響應(yīng)速度和更強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力,以避免振蕩和過(guò)沖。
更嚴(yán)格的柵極電壓要求: SiC MOSFET的閾值電壓(Vth)通常較低,且柵極氧化層對(duì)過(guò)壓敏感,需要更精確的柵極電壓控制。GaN HEMT通常是耗盡型,需要負(fù)壓關(guān)斷,或者采用cascode結(jié)構(gòu)來(lái)簡(jiǎn)化驅(qū)動(dòng)。
共源電感: 在高頻開關(guān)時(shí),由于寄生電感的存在,會(huì)在源極處產(chǎn)生負(fù)反饋,影響驅(qū)動(dòng)信號(hào)的傳輸,導(dǎo)致開關(guān)波形畸變。無(wú)源驅(qū)動(dòng)和 Kelvin 源極連接是解決該問(wèn)題的重要方法。
寄生米勒效應(yīng): GaN和SiC器件的米勒平臺(tái)效應(yīng)更短,更容易受到柵極-漏極電容(Cgd)的影響,導(dǎo)致誤導(dǎo)通。
2. 功率半導(dǎo)體保護(hù)技術(shù)
功率半導(dǎo)體器件工作在高電壓、大電流環(huán)境下,容易受到各種過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)溫等異常情況的影響,從而導(dǎo)致失效。完善的保護(hù)電路是確保系統(tǒng)可靠性的關(guān)鍵。
過(guò)流保護(hù)(Overcurrent Protection):
分流電阻: 在電流路徑中串聯(lián)小電阻,通過(guò)測(cè)量電阻上的壓降來(lái)檢測(cè)電流。
霍爾傳感器: 非接觸式測(cè)量電流,提供隔離。
脫飽和檢測(cè)(Desaturation Detection): 對(duì)于IGBT,當(dāng)發(fā)生過(guò)流時(shí),集電極-發(fā)射極飽和壓降會(huì)急劇升高,通過(guò)檢測(cè)此電壓來(lái)判斷過(guò)流。
檢測(cè)方式:
保護(hù)措施: 一旦檢測(cè)到過(guò)流,立即關(guān)斷功率器件(軟關(guān)斷以避免電壓尖峰),并發(fā)出故障信號(hào)。
過(guò)壓保護(hù)(Overvoltage Protection):
瞬態(tài)電壓抑制器(TVS): 吸收瞬態(tài)過(guò)電壓。
壓敏電阻(Varistor): 吸收能量,限制電壓。
緩沖電路(Snubber Circuit): 在開關(guān)過(guò)程中吸收能量,抑制電壓尖峰和電流振蕩,減小開關(guān)損耗和EMI。常見(jiàn)的有RC緩沖器、RCD緩沖器等。
有源箝位電路: 通過(guò)控制功率器件的柵極電壓來(lái)主動(dòng)限制漏極/集電極電壓。
過(guò)溫保護(hù)(Overtemperature Protection):
溫度傳感器: 在功率器件附近或封裝內(nèi)部集成溫度傳感器(如NTC熱敏電阻、PTC熱敏電阻、熱電偶等),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)芯片溫度。
風(fēng)扇控制/降額: 當(dāng)溫度接近閾值時(shí),啟動(dòng)風(fēng)扇加速散熱,或降低輸出功率進(jìn)行降額運(yùn)行。
過(guò)溫關(guān)斷: 當(dāng)溫度超過(guò)安全閾值時(shí),立即關(guān)斷功率器件,防止熱失效。
欠壓鎖定(Under-Voltage Lockout, UVLO):
保護(hù)柵極驅(qū)動(dòng): 確保柵極驅(qū)動(dòng)電壓在正常范圍內(nèi)才能啟動(dòng)功率器件。如果驅(qū)動(dòng)電壓過(guò)低,功率器件可能無(wú)法完全導(dǎo)通,導(dǎo)致導(dǎo)通損耗過(guò)大,甚至損壞。
短路保護(hù)(Short-Circuit Protection):
快速檢測(cè)與關(guān)斷: 在發(fā)生短路時(shí),電流會(huì)迅速飆升。保護(hù)電路必須能夠極快地檢測(cè)到短路并關(guān)斷功率器件,以避免永久性損壞。脫飽和檢測(cè)是IGBT短路保護(hù)的常用方法。
互鎖(Interlock):
防止上下橋臂直通: 在半橋或全橋拓?fù)渲?,確保同一橋臂的兩個(gè)功率器件不能同時(shí)導(dǎo)通,避免發(fā)生短路(直通)現(xiàn)象。這通過(guò)在驅(qū)動(dòng)信號(hào)之間設(shè)置死區(qū)時(shí)間(Dead Time)或使用專用互鎖邏輯電路實(shí)現(xiàn)。
失效模式與診斷:
故障診斷: 完善的保護(hù)系統(tǒng)應(yīng)具備故障診斷功能,能夠識(shí)別故障類型,并提供相應(yīng)的指示,便于系統(tǒng)維護(hù)和故障排除。
安全失效模式: 在檢測(cè)到故障時(shí),系統(tǒng)應(yīng)以安全的方式關(guān)斷,避免進(jìn)一步損壞或引發(fā)危險(xiǎn)。
綜合來(lái)看,驅(qū)動(dòng)和保護(hù)技術(shù)是功率半導(dǎo)體應(yīng)用中不可或缺的組成部分。它們不僅保障了器件的安全運(yùn)行,更是優(yōu)化系統(tǒng)性能、提高能效和延長(zhǎng)壽命的關(guān)鍵。隨著功率半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,驅(qū)動(dòng)和保護(hù)電路的設(shè)計(jì)也越來(lái)越復(fù)雜和智能化。
功率半導(dǎo)體在電力電子系統(tǒng)中的應(yīng)用
功率半導(dǎo)體是現(xiàn)代電力電子系統(tǒng)的核心,廣泛應(yīng)用于電能的產(chǎn)生、傳輸、分配和消費(fèi)的各個(gè)環(huán)節(jié)。它們是實(shí)現(xiàn)高效電能轉(zhuǎn)換和控制的基礎(chǔ)。
1. 開關(guān)電源 (Switching Mode Power Supply, SMPS)
開關(guān)電源是功率半導(dǎo)體最基礎(chǔ)也是最廣泛的應(yīng)用之一。它通過(guò)高頻開關(guān)的方式將交流或直流電能轉(zhuǎn)換為所需的穩(wěn)定直流電壓。
原理: 功率半導(dǎo)體(如MOSFET、IGBT)以高頻(幾十kHz到幾MHz)周期性地導(dǎo)通和關(guān)斷,將輸入電壓斬波成方波,然后通過(guò)變壓器進(jìn)行變壓和隔離(可選),再經(jīng)過(guò)整流和濾波,最終得到穩(wěn)定的直流輸出。
優(yōu)勢(shì): 相較于傳統(tǒng)的線性電源,開關(guān)電源具有更高的效率、更小的體積和更輕的重量。
典型拓?fù)洌?/strong> 降壓(Buck)、升壓(Boost)、降壓-升壓(Buck-Boost)、反激(Flyback)、正激(Forward)、半橋、全橋等。
應(yīng)用:
消費(fèi)電子: 手機(jī)充電器、筆記本電腦電源適配器、電視機(jī)電源、LED照明驅(qū)動(dòng)等,尤其快充技術(shù)大量采用GaN功率器件。
工業(yè)電源: 各種工業(yè)設(shè)備、自動(dòng)化控制系統(tǒng)的直流電源。
通信電源: 蜂窩基站、路由器、交換機(jī)等通信設(shè)備的供電系統(tǒng)。
數(shù)據(jù)中心: 服務(wù)器電源,對(duì)效率和功率密度要求極高。
醫(yī)療設(shè)備: 各種醫(yī)療儀器的電源。
2. 電機(jī)驅(qū)動(dòng) (Motor Drives)
電機(jī)驅(qū)動(dòng)是功率半導(dǎo)體最主要的工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域之一,覆蓋了從小型家電電機(jī)到大型工業(yè)電機(jī)、電動(dòng)汽車驅(qū)動(dòng)等。
原理: 功率半導(dǎo)體(主要是IGBT和MOSFET)組成逆變器電路,將直流電能(或經(jīng)整流后的交流電能)轉(zhuǎn)換為頻率和幅值可調(diào)的交流電能,以驅(qū)動(dòng)交流電機(jī)實(shí)現(xiàn)調(diào)速和控制。
優(yōu)勢(shì): 實(shí)現(xiàn)了對(duì)電機(jī)轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)矩的精確控制,提高了系統(tǒng)效率,降低了能耗。
典型拓?fù)洌?/strong> 三相逆變器、H橋等。
應(yīng)用:
工業(yè)自動(dòng)化: 變頻器(VFD)驅(qū)動(dòng)各種工業(yè)電機(jī),如風(fēng)機(jī)、水泵、壓縮機(jī)、傳送帶等,實(shí)現(xiàn)節(jié)能運(yùn)行和精確控制。
家用電器: 變頻空調(diào)、變頻洗衣機(jī)、冰箱等,提高能效和降低噪音。
電動(dòng)汽車(EV)/混合動(dòng)力汽車(HEV): 電機(jī)控制器是電動(dòng)汽車的心臟,SiC MOSFET和IGBT在其中扮演關(guān)鍵角色,將電池直流電轉(zhuǎn)換為交流電驅(qū)動(dòng)電機(jī),或?qū)⒅苿?dòng)能量回收到電池。
軌道交通: 高速列車、地鐵等列車的牽引變流器,驅(qū)動(dòng)牽引電機(jī)。
機(jī)器人: 各種機(jī)器人關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)。
3. 可再生能源發(fā)電與并網(wǎng)
功率半導(dǎo)體是太陽(yáng)能、風(fēng)能等可再生能源并網(wǎng)發(fā)電系統(tǒng)的核心組成部分。
太陽(yáng)能光伏逆變器:
原理: 光伏電池產(chǎn)生直流電,通過(guò)升壓變換器(Boost Converter)和逆變器(Inverter)將直流電轉(zhuǎn)換為符合電網(wǎng)要求的交流電。功率半導(dǎo)體(IGBT、SiC MOSFET)實(shí)現(xiàn)高效率的DC-DC升壓和DC-AC逆變。
應(yīng)用: 分布式光伏發(fā)電、集中式光伏電站。SiC器件因其高效率和高功率密度而廣泛應(yīng)用。
風(fēng)力發(fā)電:
原理: 風(fēng)力發(fā)電機(jī)產(chǎn)生的交流電(頻率和幅值不固定)需要通過(guò)變流器(Converter)轉(zhuǎn)換為恒定頻率和幅值的交流電,或先整流成直流再逆變并網(wǎng)。功率半導(dǎo)體(高壓IGBT模塊)是核心器件。
應(yīng)用: 大型風(fēng)力發(fā)電機(jī)組。
4. 不間斷電源 (Uninterruptible Power Supply, UPS)
UPS系統(tǒng)通過(guò)在市電中斷時(shí)提供備用電源來(lái)保護(hù)關(guān)鍵負(fù)載,確保電力供應(yīng)的連續(xù)性。
原理: UPS系統(tǒng)內(nèi)部包含整流器、電池充電器、電池和逆變器。市電正常時(shí),整流器將交流電轉(zhuǎn)換為直流電為電池充電;市電中斷時(shí),電池通過(guò)逆變器將直流電轉(zhuǎn)換為交流電供電。功率半導(dǎo)體(IGBT、MOSFET)是整流和逆變環(huán)節(jié)的核心。
應(yīng)用: 數(shù)據(jù)中心、醫(yī)療設(shè)備、通信基站、工業(yè)控制系統(tǒng)、服務(wù)器等對(duì)電力可靠性要求極高的場(chǎng)所。
5. 高壓直流輸電 (High Voltage Direct Current, HVDC)
HVDC是一種用于長(zhǎng)距離、大容量輸電或連接不同交流電網(wǎng)的有效方式。
原理: 在發(fā)送端,交流電通過(guò)換流站的整流器轉(zhuǎn)換為直流電;在接收端,直流電通過(guò)換流站的逆變器轉(zhuǎn)換為交流電。晶閘管(Thyristor)和IGBT(特別是VSC-HVDC中的IGBT)是換流閥的關(guān)鍵器件。
優(yōu)勢(shì): 傳輸損耗低、穩(wěn)定性好、無(wú)需同步、可連接非同步電網(wǎng)。
應(yīng)用: 遠(yuǎn)距離電力傳輸、跨區(qū)域電網(wǎng)互聯(lián)、柔性直流輸電。
6. 智能電網(wǎng)與電能質(zhì)量管理
功率半導(dǎo)體在智能電網(wǎng)中扮演著越來(lái)越重要的角色,用于提高電網(wǎng)的效率、穩(wěn)定性和電能質(zhì)量。
靜止無(wú)功補(bǔ)償器 (Static Var Compensator, SVC) / 靜止同步補(bǔ)償器 (STATCOM): 用于動(dòng)態(tài)補(bǔ)償電網(wǎng)無(wú)功功率,抑制電壓波動(dòng),提高電網(wǎng)穩(wěn)定性。主要使用晶閘管和IGBT。
有源電力濾波器 (Active Power Filter, APF): 用于消除電網(wǎng)中的諧波電流,改善電能質(zhì)量。主要使用IGBT。
固態(tài)斷路器 (Solid-State Circuit Breaker, SSCB): 采用功率半導(dǎo)體(如IGBT或SiC/GaN器件)取代傳統(tǒng)機(jī)械式斷路器,實(shí)現(xiàn)更快的開關(guān)速度和更精確的故障保護(hù),提高電網(wǎng)響應(yīng)速度和可靠性。
7. 充電樁與儲(chǔ)能系統(tǒng)
隨著電動(dòng)汽車的普及和可再生能源的快速發(fā)展,充電樁和儲(chǔ)能系統(tǒng)對(duì)功率半導(dǎo)體的需求也日益增長(zhǎng)。
電動(dòng)汽車充電樁: 內(nèi)部的AC-DC整流模塊和DC-DC變換模塊大量使用功率半導(dǎo)體,尤其是高效率的SiC器件。
儲(chǔ)能系統(tǒng): 電池儲(chǔ)能系統(tǒng)中的PCS(Power Conversion System)負(fù)責(zé)電池的充放電管理和并網(wǎng),核心是功率半導(dǎo)體變換器。
8. 家用電器與消費(fèi)電子
除了上述大型工業(yè)應(yīng)用,功率半導(dǎo)體也深入到我們?nèi)粘I畹姆椒矫婷妗?/span>
變頻家電: 變頻空調(diào)、變頻冰箱、變頻洗衣機(jī)、電磁爐等,通過(guò)功率半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)電機(jī)調(diào)速、功率控制,從而實(shí)現(xiàn)節(jié)能。
LED照明: LED驅(qū)動(dòng)電源中的DC-DC變換器和AC-DC整流器。
手機(jī)快充: 氮化鎵(GaN)器件的典型應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)更小、更高效的充電器。
總而言之,功率半導(dǎo)體無(wú)處不在,是現(xiàn)代社會(huì)高效利用電能、實(shí)現(xiàn)智能化控制、推動(dòng)能源轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵核心技術(shù)。隨著科技的不斷進(jìn)步,其應(yīng)用領(lǐng)域和重要性將持續(xù)擴(kuò)展。
功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)
功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是半導(dǎo)體領(lǐng)域中一個(gè)獨(dú)特且充滿活力的分支,它與微電子產(chǎn)業(yè)在技術(shù)路線、市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)力等方面存在顯著差異。其發(fā)展與全球能源效率提升、綠色能源轉(zhuǎn)型、電動(dòng)化和智能化趨勢(shì)緊密相連。
1. 產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個(gè)高度全球化的復(fù)雜生態(tài)系統(tǒng),涉及多個(gè)環(huán)節(jié):
材料供應(yīng)商: 提供半導(dǎo)體晶圓(硅、碳化硅、氮化鎵襯底)、外延片、封裝材料等。
設(shè)計(jì)公司(Fabless): 專注于功率半導(dǎo)體芯片的設(shè)計(jì)和研發(fā),將制造外包給晶圓代工廠。
晶圓代工廠(Foundry): 負(fù)責(zé)按照設(shè)計(jì)公司提供的IP進(jìn)行芯片制造。
IDM(Integrated Device Manufacturer)廠商: 集設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試于一體的垂直整合企業(yè),擁有從材料到產(chǎn)品的完整產(chǎn)業(yè)鏈。許多傳統(tǒng)功率半導(dǎo)體巨頭屬于IDM模式。
封裝和測(cè)試服務(wù)商(OSAT): 提供專業(yè)的芯片封裝和測(cè)試服務(wù)。
設(shè)備供應(yīng)商: 提供制造和測(cè)試所需的各種半導(dǎo)體設(shè)備。
模組廠商: 將多個(gè)功率芯片集成到高性能模塊中,面向大功率應(yīng)用。
終端應(yīng)用廠商: 將功率半導(dǎo)體器件或模塊集成到其最終產(chǎn)品中,如電動(dòng)汽車、變頻器、電源、家電等。
2. 全球主要參與者
全球功率半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈,主要參與者包括:
國(guó)際巨頭IDM廠商: 英飛凌(Infineon)、安森美(Onsemi)、意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)、三菱電機(jī)(Mitsubishi Electric)、富士電機(jī)(Fuji Electric)、東芝(Toshiba)、羅姆(ROHM)、Vishay、NXP、TI等。這些公司在硅基功率器件和寬禁帶功率器件領(lǐng)域均有深厚積累。
新興寬禁帶半導(dǎo)體廠商: Wolfspeed(SiC襯底和器件)、Cree(現(xiàn)為Wolfspeed)、Transphorm(GaN)、Navitas(GaN)、EPC(GaN)等。這些公司專注于寬禁帶材料和器件的研發(fā)與生產(chǎn)。
中國(guó)本土廠商: 華潤(rùn)微、士蘭微、聞泰科技(安世半導(dǎo)體)、斯達(dá)半導(dǎo)、揚(yáng)杰科技、新潔能等。近年來(lái),中國(guó)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,在硅基IGBT、MOSFET以及部分SiC/GaN領(lǐng)域取得突破。
3. 市場(chǎng)規(guī)模與驅(qū)動(dòng)因素
功率半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模龐大且持續(xù)增長(zhǎng)。根據(jù)不同機(jī)構(gòu)的預(yù)測(cè),到2030年,全球功率半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)到數(shù)百億美元。
主要驅(qū)動(dòng)因素:
電動(dòng)汽車(EV)的快速普及: 電動(dòng)汽車是SiC/GaN功率半導(dǎo)體最大的增長(zhǎng)引擎,逆變器、車載充電器、DC-DC轉(zhuǎn)換器等都需要大量高性能功率器件。
可再生能源發(fā)展: 太陽(yáng)能和風(fēng)力發(fā)電的持續(xù)增長(zhǎng),以及儲(chǔ)能系統(tǒng)的部署,帶動(dòng)了對(duì)高效逆變器和變換器的需求。
工業(yè)自動(dòng)化和節(jié)能減排: 變頻器在工業(yè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)、家用電器中的廣泛應(yīng)用,有助于提高能效,降低碳排放。
數(shù)據(jù)中心和通信基礎(chǔ)設(shè)施: 對(duì)高效率、高功率密度電源的需求日益增長(zhǎng)。
消費(fèi)電子小型化和快充: 推動(dòng)了GaN功率器件在適配器、充電器中的應(yīng)用。
智能電網(wǎng)和柔性直流輸電: 對(duì)高壓、大功率功率器件的需求。
4. 未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)
功率半導(dǎo)體技術(shù)正在經(jīng)歷一場(chǎng)深刻的變革,以下是幾個(gè)關(guān)鍵的發(fā)展趨勢(shì):
寬禁帶半導(dǎo)體(SiC/GaN)的全面滲透: SiC和GaN將持續(xù)替代硅基器件在更高壓、更高頻、更高功率密度、更極端環(huán)境下的應(yīng)用。未來(lái)幾十年,它們將成為高性能電力電子系統(tǒng)的主流。
高壓大功率器件的突破: 隨著SiC和GaN材料和器件技術(shù)的成熟,更高耐壓(如10kV以上)和更大電流(如數(shù)千安培)的器件將不斷涌現(xiàn),滿足特高壓輸電、大功率工業(yè)等需求。
集成化與模塊化: 功率器件將從單一芯片向高集成度的功率模塊發(fā)展,內(nèi)部集成功率芯片、驅(qū)動(dòng)電路、傳感器、保護(hù)功能,甚至更復(fù)雜的控制算法,實(shí)現(xiàn)“System in Package”(SiP)或“Power Integration Module”(PIM)。這將簡(jiǎn)化系統(tǒng)設(shè)計(jì),提高可靠性和功率密度。
智能化與數(shù)字化: 功率器件將與數(shù)字控制、人工智能(AI)、機(jī)器學(xué)習(xí)(ML)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)更智能的功率管理、故障診斷和預(yù)測(cè)性維護(hù)。例如,集成通信接口的智能功率模塊(IPM)。
超高頻應(yīng)用: GaN器件在射頻(RF)領(lǐng)域和高頻電源(如無(wú)線充電、激光雷達(dá))中的應(yīng)用將進(jìn)一步拓展,推動(dòng)電力電子系統(tǒng)向更高頻率發(fā)展,從而進(jìn)一步減小無(wú)源元件的尺寸。
可靠性與魯棒性提升: 隨著寬禁帶器件的普及,對(duì)其長(zhǎng)期可靠性、抗短路能力、抗瞬態(tài)過(guò)壓能力等魯棒性指標(biāo)的關(guān)注將進(jìn)一步加強(qiáng)。
成本持續(xù)優(yōu)化: 隨著寬禁帶材料制造工藝的成熟和規(guī)?;a(chǎn),其成本將持續(xù)下降,從而加速其在更廣泛領(lǐng)域的應(yīng)用。例如,SiC晶圓尺寸的增大和缺陷率的降低。
更低寄生封裝技術(shù): 為了充分發(fā)揮SiC/GaN器件的高速開關(guān)優(yōu)勢(shì),封裝技術(shù)將向著更低寄生電感、更高熱導(dǎo)率、更緊湊的方向發(fā)展,如模塊化封裝、無(wú)鍵合線封裝、嵌入式封裝等。
新材料的探索: 除了SiC和GaN,如氧化鎵(Ga2O3)、金剛石等超寬禁帶半導(dǎo)體材料的研究也在進(jìn)行中,它們有望在未來(lái)提供更極致的性能。
功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于一個(gè)快速發(fā)展和轉(zhuǎn)型的時(shí)期,其創(chuàng)新成果將繼續(xù)為全球能源效率提升、可持續(xù)發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步提供強(qiáng)大的動(dòng)力。
總結(jié)
功率半導(dǎo)體是現(xiàn)代電力電子系統(tǒng)的核心,它們是實(shí)現(xiàn)電能高效轉(zhuǎn)換、控制和管理的關(guān)鍵器件。從最簡(jiǎn)單的功率二極管到復(fù)雜的MOSFET和IGBT,這些器件通過(guò)控制電能的通斷,在各種應(yīng)用中發(fā)揮著不可替代的作用。其基本工作原理是利用半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率的可控性,通過(guò)外部信號(hào)實(shí)現(xiàn)快速、高效的開關(guān)操作。
功率半導(dǎo)體材料的演進(jìn)是推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵。傳統(tǒng)的硅基器件雖然成熟且成本效益高,但在高溫、高壓和高頻應(yīng)用中面臨物理極限。因此,以碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料應(yīng)運(yùn)而生。SiC和GaN憑借其更高的禁帶寬度、臨界擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度、電子飽和漂移速率和熱導(dǎo)率,實(shí)現(xiàn)了更高的效率、更高的開關(guān)頻率、更小的尺寸和更優(yōu)異的高溫性能,正在逐步替代硅基器件,成為電動(dòng)汽車、可再生能源、數(shù)據(jù)中心和消費(fèi)電子等新興應(yīng)用領(lǐng)域的主流選擇。
封裝技術(shù)是功率半導(dǎo)體性能的守護(hù)者和放大器,它不僅提供機(jī)械保護(hù)和電氣連接,更是實(shí)現(xiàn)有效散熱、降低寄生參數(shù)和提高可靠性的關(guān)鍵。從傳統(tǒng)的通孔封裝到先進(jìn)的無(wú)引線、倒裝芯片、燒結(jié)和嵌入式封裝技術(shù),封裝的不斷創(chuàng)新旨在滿足日益增長(zhǎng)的功率密度和開關(guān)頻率需求。
驅(qū)動(dòng)和保護(hù)電路的設(shè)計(jì)對(duì)于功率半導(dǎo)體器件的正常運(yùn)行和系統(tǒng)可靠性至關(guān)重要。驅(qū)動(dòng)電路負(fù)責(zé)將控制信號(hào)轉(zhuǎn)換為驅(qū)動(dòng)器件開關(guān)的強(qiáng)大電能,而保護(hù)電路則確保器件在過(guò)流、過(guò)壓、過(guò)溫等異常情況下免受損壞。特別是對(duì)于高速開關(guān)的SiC/GaN器件,對(duì)驅(qū)動(dòng)和保護(hù)電路的設(shè)計(jì)提出了更高的要求。
功率半導(dǎo)體在電力電子系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛,幾乎無(wú)處不在。它們是開關(guān)電源、電機(jī)驅(qū)動(dòng)、可再生能源并網(wǎng)系統(tǒng)、不間斷電源、高壓直流輸電、智能電網(wǎng)、充電樁以及各類消費(fèi)電子產(chǎn)品中的核心元器件。正是這些高性能的功率器件,支撐了現(xiàn)代社會(huì)對(duì)高效、可靠、小型化電力電子系統(tǒng)的需求,推動(dòng)了全球能源效率的提升和綠色能源的轉(zhuǎn)型。
展望未來(lái),功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將持續(xù)聚焦寬禁帶半導(dǎo)體的全面滲透、高壓大功率器件的突破、集成化與模塊化趨勢(shì)、智能化與數(shù)字化融合、超高頻應(yīng)用拓展、可靠性與魯棒性提升、成本持續(xù)優(yōu)化以及新材料的探索。功率半導(dǎo)體技術(shù)將繼續(xù)作為電力電子領(lǐng)域的核心驅(qū)動(dòng)力,為全球的能源轉(zhuǎn)型、工業(yè)升級(jí)和日常生活帶來(lái)深刻變革。
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