原標(biāo)題：國(guó)內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備出機(jī)中芯國(guó)際，面向 300mm（12 英寸）硅片工藝制程

國(guó)內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（CD-SEM）已成功出機(jī)給中芯國(guó)際，這臺(tái)設(shè)備面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，具有里程碑式的意義。以下是對(duì)該事件的詳細(xì)分析：

一、設(shè)備詳情

• 型號(hào)：SEpA-c410

• 制造商：東方晶源

• 面向工藝制程：300mm（12英寸）硅片工藝制程

• 技術(shù)特點(diǎn)：通過(guò)先進(jìn)的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準(zhǔn)的量測(cè)算法，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測(cè)。

二、合作背景與意義

• 合作雙方：東方晶源與中芯國(guó)際

• 合作意義：

• 對(duì)于東方晶源來(lái)說(shuō)，此次合作標(biāo)志著其在芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領(lǐng)域取得了重大技術(shù)突破，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)空白。這有助于東方晶源進(jìn)一步打開(kāi)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，提高營(yíng)收，并促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈條的調(diào)整、升級(jí)和完善。

• 對(duì)于中芯國(guó)際來(lái)說(shuō)，獲得國(guó)內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備有助于其實(shí)現(xiàn)技術(shù)去美化，緩解在芯片制造過(guò)程中被國(guó)外技術(shù)“卡脖子”的壓力。同時(shí)，這也將提升中芯國(guó)際在芯片制造領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力，為其生產(chǎn)高良品率的芯片提供有力支持。

• 對(duì)于我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)說(shuō)，東方晶源成功打破技術(shù)瓶頸，制備出國(guó)內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸測(cè)量設(shè)備，彌補(bǔ)了我國(guó)在芯片代工檢測(cè)環(huán)節(jié)中的空白，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供給鏈增添了一份力量。

三、設(shè)備應(yīng)用與影響

• 應(yīng)用環(huán)節(jié)：關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備在芯片制造過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。它能夠?qū)τ行е瞥绦ЯΨ秶鷥?nèi)的各項(xiàng)環(huán)節(jié)進(jìn)行工藝評(píng)定，如薄膜厚度是否符合制程標(biāo)準(zhǔn)、芯片在完成刻蝕流程環(huán)節(jié)后是否會(huì)影響硅片電性參數(shù)等。

• 影響：

• 提升芯片制造良率：通過(guò)精準(zhǔn)的關(guān)鍵尺寸量測(cè)，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正制造過(guò)程中的問(wèn)題，從而提升芯片制造的良率。

• 促進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)：東方晶源的成功經(jīng)驗(yàn)將激勵(lì)更多國(guó)內(nèi)企業(yè)投入研發(fā)，推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)的創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)。

• 增強(qiáng)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力：隨著國(guó)產(chǎn)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備的不斷成熟和完善，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)在國(guó)際市場(chǎng)上的競(jìng)爭(zhēng)力將得到進(jìn)一步提升。

綜上所述，國(guó)內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備出機(jī)中芯國(guó)際是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)重要里程碑事件。它不僅標(biāo)志著我國(guó)在芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，還將為中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)芯片制造商提供有力支持，推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)在國(guó)際市場(chǎng)上取得更大的成功。