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高壓系統(tǒng)
高壓系統(tǒng)
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靜電力驅(qū)動有著功耗低、響應時間短、宜于完成高頻率的驅(qū)動而且結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn)的特點,從而廣泛應用于微變形鏡、微型光譜儀、微陀螺、微諧振器等MEMS器件。然而采用靜電力驅(qū)動器件常常需要十分高的恒壓電源,所以可以設計一種高壓控制系統(tǒng),滿足驅(qū)動要求,使得微機械傳感器的器件廣泛使用。