MEMS封裝技術(shù)
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可靠性測(cè)試是檢驗(yàn)MEMS器件最終成品的一個(gè)重要環(huán)節(jié),可靠性測(cè)試規(guī)范主要涉及到MEMS封裝工藝中的貼片(包括倒裝焊、載帶自動(dòng)焊)、引線(xiàn)鍵合、封蓋等幾個(gè)重要工藝的可靠性測(cè)試。每步工藝的測(cè)試項(xiàng)目可根據(jù)具體器件要求選用,下面簡(jiǎn)要介紹幾個(gè)測(cè)試項(xiàng)目。
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