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溝道器件
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短溝道效應:緩變溝道的近似不再成立,這個二維電勢分布會導致閾值電壓隨L的縮短而下降,亞閾值特征的降級以及由于隧穿穿透效應而使電流飽和失效,在溝道出現(xiàn)二維電勢分布以及高電場,這些不同于長溝道MOS場效應晶體管特性的現(xiàn)象,統(tǒng)稱為短溝道效應。