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芯片制造設(shè)備
芯片制造設(shè)備
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光刻機是芯片制造的核心設(shè)備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產(chǎn)芯片的光刻機;有用于封裝的光刻機;還有用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機。用于生產(chǎn)芯片的光刻機是中國在半導(dǎo)體設(shè)備制造上最大的短板,國內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。 在高端光刻機上,除了龍頭老大ASML,尼康和佳能也曾做過光刻機,而且尼康還曾經(jīng)得到過Intel的訂單。但是近些年,尼康在ASML面前被打的毫無還手之力,高端光刻機市場基本被ASML占據(jù)。