高密度DRAM
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一動態(tài)隨機存取存儲器(DRAM)集成電路,包含一確定在一半導(dǎo)體基板內(nèi)的凹陷區(qū)域。此凹陷區(qū)域具有自一底面延伸的基本上垂直的邊側(cè)。一場效三極管經(jīng)確定以鄰接于該凹陷區(qū)域。一包含有下電容器板、電容介電體及上電容器板的電容器結(jié)構(gòu),確定在該凹陷區(qū)域中、該場效三極管上方,借此提供較大的電容器表面。 特性 一種存儲器裝置,該裝置包括:一半導(dǎo)體基板,包含一凹陷區(qū)域,該凸陷區(qū)域具有由一底面延伸的側(cè)邊;一場效三極管,該 場效三極管包括一鄰接于該凹陷區(qū)域的源/汲極區(qū)域;一絕緣 層,覆蓋在該凹陷區(qū)域上;一下電容器板,覆蓋在該絕緣層上 ,并位于一部分該場效三極管上方,該下電容器板連接至該源 /汲源區(qū)域;一電容器介電體,覆介該下電容器板上;及一上電容器板,覆蓋在該介電層上。
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