計算光刻技術(shù)
計算光刻技術(shù)
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近年來,空間光調(diào)制器(SLM)無掩模光刻技術(shù)受到微電子及相關(guān)領(lǐng)域的廣泛關(guān)注.SLM作為無掩模光學(xué)光刻系統(tǒng)的圖形發(fā)生器,可便捷,靈活,并行,低成本和高速地產(chǎn)生曝光圖形,在小批量高精度掩模制作和微光學(xué)器件生產(chǎn)中發(fā)揮了重要作用,在高分辨集成電路制作上也表現(xiàn)出極其誘人的應(yīng)用前景
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