薄膜器件是任何基于極薄物質(zhì)層的組件，通常是半導(dǎo)體硅，納米或十億分之一米厚，有時(shí)會(huì)相互疊放，形成一個(gè)復(fù)雜的薄膜器件或電路。這可以涉及到任何東西，從用于制造計(jì)算機(jī)微處理器的晶體管陣列，到微型機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），它們是微小的傳感器，用于檢測(cè)從家用火災(zāi)探測(cè)器中的氡和煙霧到機(jī)械運(yùn)動(dòng)的一切東西，溫度變化，制導(dǎo)導(dǎo)彈的高度。薄膜裝置的其他應(yīng)用包括鍍銀工藝，如反射鏡鍍銀，光學(xué)層賦予透鏡獨(dú)特的質(zhì)量，以及基于鐵化合物的磁性薄膜作為一種新的計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器形式。高級(jí)電池，藥物，太陽(yáng)能電池的應(yīng)用，比如屋頂?shù)耐咂梢宰约喊l(fā)電，也基于某種形式的薄膜設(shè)備。