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電容式加速度計
電容式加速度計
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MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域,與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。其中MEMS加速度傳感器被現(xiàn)在廣泛應用在各個有著需要運動的領域中。