外光刻機
外光刻機
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光刻機(又稱曝光機)是生產大規(guī)模集成電路的核心設備,制造和維護需要高度的光學和電子工業(yè)基礎,世界上只有少數(shù)廠家掌握。光刻機的作用是掃描曝光芯片晶圓,刻蝕集成電路。精度越高的光刻機,能生產出納米尺寸更小,功能更強大的芯片。小于5納米的芯片晶圓,只能用EUV光刻機生產。
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