一種自動(dòng)晶片檢測(cè)方法,首先提供第一組數(shù)據(jù)與第二組數(shù)據(jù).接著,提供一自動(dòng)程序,是提供一視介面,使用者只需修改其中簡(jiǎn)單的幾個(gè)指令,即可方便檢測(cè)各種不同的元件特性.執(zhí)行此自動(dòng)程序,載入第一組數(shù)據(jù),并進(jìn)行下列選擇步驟:選擇一檢測(cè)模件,其以電性連接與控制晶片上的多個(gè)測(cè)試鍵;再選擇欲檢測(cè)的元件特性,此時(shí)自動(dòng)程序載入第二組數(shù)據(jù).最后,自動(dòng)程序?qū)⑸鲜鲞x擇結(jié)果載入一工作站,然后進(jìn)行并完成元件特性的檢測(cè)動(dòng)作.