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電容式加速度傳感器
電容式加速度傳感器
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電容式加速度傳感器是基于電容原理的極距變化型的電容傳感器,其中一個電極是固定的,另一變化電極是彈性膜片。彈性膜片在外力(氣壓、液壓等)作用下發(fā)生位移,使電容量發(fā)生變化。這種傳感器可以測量氣流(或液流)的振動速度(或加速度),還可以進一步測出壓力。