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壓電式麥克風(fēng)
壓電式麥克風(fēng)
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本發(fā)明公開了一種壓電式麥克風(fēng),包括:襯底;設(shè)置在所述襯底上的壓電振膜,所述壓電振膜與所述襯底之間形成有懸空腔;設(shè)置在所述懸空腔下方的聲孔,所述聲孔縱向貫穿所述襯底,且所述聲孔的橫截面積小于所述壓電振膜的橫截面積;所述壓電振膜包括至少兩個諧振頻率不同的組成部分.本發(fā)明實施例提供的壓電式麥克風(fēng)的壓電振膜包括至少兩個諧振頻率不同的組成部分,整個振膜具有不同的諧振頻率,可以改善麥克風(fēng)的頻譜,增大帶寬.

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射頻濾波... 壓電式麥... 超聲傳感...
2021-08-17
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