靜電懸浮加速度計為當(dāng)前國際上精度最高的一類加速度計,本文的設(shè)計目標(biāo)為:量程12.5μgn,靈敏度1 ngn,帶寬0.1 Hz.從靜電懸浮加速度計的敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計出發(fā),詳細(xì)地論述了該類加速度計的電容位移檢測原理和微弱加速度檢測原理.通過適當(dāng)?shù)碾姌O配置設(shè)計,并對六路差分電容輸出進(jìn)行適當(dāng)?shù)木€性組合,探討了該加速度計的六軸檢測功能(三個線加速度和三個角加速度).隨后對該加速度計的靜電懸浮支承系統(tǒng)進(jìn)行了振動學(xué)分析,采用1atm的空氣阻尼,得出系統(tǒng)的阻尼振動頻率為0.825 Hz,輸出采樣間隔為4 s.本文的設(shè)計對研制高精度多軸加速度計具有重要參考價值.