您現(xiàn)在的位置: 首頁 > 標簽 > 光電共封裝技術
光電共封裝技術
光電共封裝技術
相關文章 : 1篇 瀏覽 : 7次

分析了高速高密度光電共封裝中2.5D,3D集成技術,提出并驗證了2種2.5D光電共封裝結構:采用硅轉接板的光電共封裝和采用玻璃轉接板的2.5D結構,經仿真得到在40 GHz工作時可以實現(xiàn)較低的插入損耗,并進行了工藝驗證,制備了硅轉接板和玻璃轉接板樣品.還提出了一種新型基于有機基板工藝的3D光電共封裝結構,該結構相比其他2.5D和3D結構尺寸更小,更薄,設計更靈活.對該結構進行了工藝驗證,制作了光探測器(PD)與跨阻放大器(TIA)共同集成的三維光電共封裝樣品.