三軸加速度傳感器原理 　　目前的加速度傳感器有多種實現(xiàn)方式，主要可分為壓電式、電容式及熱感應(yīng)式三種，這三種技術(shù)各有其優(yōu)缺點。以電容式3軸加速度計的技術(shù)原理為例。電容式加速度計能夠感測不同方向的加速度或振動等運(yùn)動狀況。其主要為利用硅的機(jī)械性質(zhì)設(shè)計出的可移動機(jī)構(gòu)：由于加速度使得機(jī)械懸臂與兩個電極之間的距離發(fā)生變化，從而改變了兩個電容的參數(shù)。通過集成的開關(guān)電容放大電路量測電容參數(shù)的變化，形成了與加速度成正比的電壓輸出。因此3軸加速度傳感器必然包含一個單純的機(jī)械性MEMS傳感器和一枚ASIC接口芯片兩部分，前者內(nèi)部有成群移動的電子，主要測量XY及Z軸的區(qū)域，后者則將電容值的變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出。