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PVD設(shè)備
PVD設(shè)備
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PVD(物理氣相沉積)技術(shù)即在真空條件下,采用物理方法,將材料源——固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)。其早在20世紀(jì)初已有些應(yīng)用,但30年迅速發(fā)展,成為一門極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù),目前其主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的流程之中,在注塑模具,五金模具以及機(jī)械與化工領(lǐng)域均有應(yīng)用。