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3D硅堆疊
3D硅堆疊
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3D堆疊技術是把不同功能的芯片或結構,通過堆疊技術或過孔互連等微機械加工技術,使其在Z軸方向上形成立體集成、信號連通及圓片級、芯片級、硅帽封裝等封裝和可靠性技術為目標的三維立體堆疊加工技術。該技術用于微系統(tǒng)集成,是繼片上系統(tǒng)(SOC)、多芯片模塊(MCM)之后發(fā)展起來的系統(tǒng)級封裝的先進制造技術。