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諧振微器件
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無線通信的發(fā)展要求系統(tǒng)中的無源器件小型化,以實現(xiàn)系統(tǒng)單片集 成.微加工技術(shù)制作的無源器件不僅可以滿足小型化要求,而且在300kHz到14.5MHz頻段內(nèi),其品質(zhì)因子(Q值)可高達50 000.鑒于此,本文以表面加工技術(shù),體加工技術(shù)以及鍵合技術(shù)制作的MEMS諧振器以及由它和耦合梁組成的濾波器為重點,介紹了它們的工作原理,設(shè)計和制 作方法,最后討論了在高頻范圍內(nèi)制約MEMS諧振器件工作性能的因素.

中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支持多家芯片廠商實現(xiàn)量產(chǎn)
中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支持多家芯片廠商實現(xiàn)量產(chǎn)
中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺（SASFR?）在射頻芯片領(lǐng)域取得了顯著成就，已經(jīng)支持多家設(shè)計公司實現(xiàn)射頻前端中高頻體聲波濾波器（BAW）的量產(chǎn)。以下是對該平臺的詳細(xì)分析：一、平臺概述SASFR?是中芯寧波全自主開發(fā)并擁有全套自主知識產(chǎn)權(quán)的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術(shù)。該平臺包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺以及后道晶圓級芯......
高頻體聲... 射頻前端 諧振微器...
2021-11-16
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