您現(xiàn)在的位置: 首頁 > 標(biāo)簽 > ASML光刻機(jī)
ASML光刻機(jī)
ASML光刻機(jī)
相關(guān)文章 : 2篇 瀏覽 : 44次

光刻機(jī)(Mask Aligner)又名:掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。