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MEMS振子

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什么是MEMS振子？

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MEMS振子（Micro-Electro-Mechanical Systems Oscillator）是微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)中的核心元件，通過微納加工工藝在硅基底上制造出微型機械振動結(jié)構(gòu)，用于實現(xiàn)角速度、加速度、壓力等物理量的高精度測量。它是MEMS傳感器（如陀螺儀、加速度計）和執(zhí)行器（如諧振器、濾波器）的關(guān)鍵組成部分，廣泛應(yīng)用于消......

2025-05-21

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