光刻機(jī)和刻蝕機(jī)在芯片制造過程中都扮演著非常重要的角色，它們各自承擔(dān)著不同的任務(wù)，且互為補(bǔ)充。

光刻機(jī)主要用于將掩膜板上的圖案轉(zhuǎn)移到硅片上，通過優(yōu)化光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)和控制算法，可以實(shí)現(xiàn)更高的分辨率和更精準(zhǔn)的圖案轉(zhuǎn)移。光刻機(jī)的作用是將設(shè)計(jì)好的芯片圖案投射到光敏感的化學(xué)物質(zhì)上，形成所需的圖案結(jié)構(gòu)，從而制作出芯片中的電路。

而刻蝕機(jī)則主要用于去除芯片表面的多余物質(zhì)，例如氧化層、金屬等。在光刻機(jī)將電路結(jié)構(gòu)復(fù)制到硅片上之后，刻蝕機(jī)需要對(duì)硅片上的電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行微雕，這需要極大的精準(zhǔn)度，才能讓線路可以安置進(jìn)雕刻出的溝槽與接觸點(diǎn)之中。隨著制程的縮小，刻蝕步驟的數(shù)量也在不斷增加，例如14nm制程需要64次刻蝕步驟，而7nm制程則直接飆升至140余次。

因此，光刻機(jī)和刻蝕機(jī)在芯片制造過程中都是不可或缺的，它們各自具有重要的作用。無法簡(jiǎn)單地說哪一個(gè)更重要，因?yàn)樗鼈兌际侵圃旄咝阅苄酒匦璧脑O(shè)備。