國內(nèi)首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線的成功通線，標志著我國在先進傳感器技術(shù)領(lǐng)域取得了重要突破。以下是對該中試線的詳細介紹：一、中試線基本信息建設(shè)單位：國家智能傳感器創(chuàng)新中心建設(shè)地點：上海嘉定工業(yè)區(qū)中試線規(guī)格：國內(nèi)首條12英寸先進傳感器中試線二、中試線技術(shù)與設(shè)備主要設(shè)備：以國產(chǎn)設(shè)備為主核心技術(shù)：具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)......