中微公司發(fā)布的雙反應(yīng)臺(tái)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo Twin-Star（R）是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體加工設(shè)備，以下是對(duì)該設(shè)備的詳細(xì)介紹：一、設(shè)備概述Primo Twin-Star（R）是中微公司基于其成熟的單臺(tái)反應(yīng)器電感耦合等離子體（ICP）刻蝕技術(shù)和雙臺(tái)反應(yīng)器的Primo平臺(tái)而開(kāi)發(fā)的新一代刻蝕設(shè)備。該設(shè)備主要用于IC器件前道和后道制程導(dǎo)......