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紫外光刻機
紫外光刻機
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該光刻機可廣泛用于MEMS和光電子,例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過特殊設(shè)計,方便處理各種非標準基片、例如混合、高頻元件和易碎的III-V族材料,包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過選配升級套件,實現(xiàn)紫外納米壓印光刻。它具有以下亮點:高分辨率掩模對準光刻,特征尺寸優(yōu)于0.5微米、裝配SUSS的單視場顯微鏡或分視場顯微鏡,實現(xiàn)快速準確對準、針對厚膠工藝進行優(yōu)化的高分辨光學系統(tǒng)、可選配通用光學器件,在不同波長間進行快速切換等