泛林集團全新干膜光刻膠技術(shù)的突破，確實為滿足下一代器件的縮放需求提供了有力的技術(shù)支持。以下是對該技術(shù)的詳細分析：一、技術(shù)背景與需求隨著芯片制造商開始轉(zhuǎn)向更先進的技術(shù)節(jié)點，芯片的特征尺寸愈發(fā)精細，這對光刻膠技術(shù)提出了更高的要求。傳統(tǒng)的光刻膠技術(shù)，如化學(xué)放大光刻膠（CAR），在5nm節(jié)點之后已面臨重大瓶頸，無法滿足更精細特征的制造需求。因此，......