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高密度溝槽柵MOSFET
高密度溝槽柵MOSFET
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一個溝槽金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)單元,它包含一個被一源區(qū)域圍繞的溝槽柵極,而此源區(qū)域被安置在襯底底部表面上的漏極區(qū)域之上的基體區(qū)域包圍著.該MOSFET單元還包含一個埋設的溝槽多晶硅柵極導路,它電接觸到該溝槽MOSFET的溝槽柵極.用作柵極導路的該埋設溝槽多晶硅柵極導路,以增加柵極傳輸面積并增加到柵極接觸金屬的接觸面積以降低柵極電阻.