GAA架構(gòu)
GAA架構(gòu)
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GAA(Gate-all-around)架構(gòu)是周邊環(huán)繞著Gate 的FinFET 架構(gòu)。照專家觀點(diǎn),GAA 架構(gòu)的晶體管提供比FinFET 更好的靜電特性,可滿足某些柵極寬度的需求。這主要表現(xiàn)在同等尺寸結(jié)構(gòu)下,GAA 的溝道控制能力強(qiáng)化,尺寸進(jìn)一步微縮更有可能性。相較傳統(tǒng)FinFET 溝道僅3 面被柵極包覆,GAA 若以納米線溝道設(shè)計(jì)為例,溝道整個(gè)外輪廓都被柵極完全包裹,代表柵極對(duì)溝道的控制性更好。
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