原標(biāo)題：英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議，將批量購(gòu)買高產(chǎn)能i－line和KrF光刻機(jī)

英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議，批量購(gòu)買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī)，這一合作對(duì)雙方都具有重要意義。以下是對(duì)該事件的詳細(xì)分析：

一、合作背景

1. 英諾賽科簡(jiǎn)介：

• 英諾賽科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵芯片制造的企業(yè)。

• 公司成功建成投產(chǎn)全球首條200mm硅基氮化鎵晶圓與功率器件量產(chǎn)生產(chǎn)線，主要產(chǎn)品包括200mm硅基氮化鎵晶圓及30V-650V氮化鎵功率器件。

2. ASML簡(jiǎn)介：

• ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商，其生產(chǎn)的XT400和XT860的i-line和KrF光刻機(jī)經(jīng)過(guò)升級(jí)，能夠在硅基晶圓上制造氮化鎵功率器件。

• ASML的i-line和KrF光刻機(jī)憑借其獨(dú)特的TWINSCAN（雙工件臺(tái)）架構(gòu)，能提供最卓越的性能、市場(chǎng)上最高的生產(chǎn)效率以及最低的成本。

二、合作協(xié)議內(nèi)容

1. 合作目的：

• 英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議，旨在批量購(gòu)買高產(chǎn)能的i-line和KrF光刻機(jī)，用于制造先進(jìn)的硅基氮化鎵功率器件。

2. 合作時(shí)間：

• 該合作協(xié)議在2021年1月21日正式簽署。

3. 合作成果：

• 英諾賽科在2021年第二季度成功搬入首批光刻機(jī)，并實(shí)現(xiàn)了試生產(chǎn)和正式量產(chǎn)。

• 這一合作標(biāo)志著第三代半導(dǎo)體制造技術(shù)正式進(jìn)入了一個(gè)全新的紀(jì)元，英諾賽科成為全球首家在200mm晶圓生產(chǎn)線上應(yīng)用ASML TWINSCAN（雙工件臺(tái)）光刻技術(shù)的企業(yè)。

  

三、合作意義

1. 對(duì)英諾賽科的意義：

• 提升了英諾賽科的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，加快了產(chǎn)品推向市場(chǎng)的速度。

• 助力英諾賽科在氮化鎵半導(dǎo)體行業(yè)中的蓬勃發(fā)展，提高了其市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

2. 對(duì)ASML的意義：

• 擴(kuò)大了ASML在硅基氮化鎵市場(chǎng)的份額，展示了其光刻機(jī)在第三代半導(dǎo)體制造中的優(yōu)勢(shì)。

• 增強(qiáng)了ASML與中國(guó)企業(yè)的合作關(guān)系，為其在中國(guó)市場(chǎng)的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

四、未來(lái)展望

1. 英諾賽科的發(fā)展：

• 英諾賽科將繼續(xù)致力于第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵芯片的研發(fā)和生產(chǎn)，擴(kuò)大產(chǎn)能和產(chǎn)品線。

• 預(yù)計(jì)英諾賽科在全球氮化鎵廠商中的市占率將持續(xù)攀升，有望成為全球領(lǐng)先的氮化鎵芯片制造商之一。

2. ASML的發(fā)展：

• ASML將繼續(xù)投入研發(fā)和創(chuàng)新，提升光刻機(jī)的性能和效率。

• ASML將加強(qiáng)與全球芯片制造商的合作，共同推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

綜上所述，英諾賽科與ASML簽署合作協(xié)議并批量購(gòu)買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī)，對(duì)雙方都具有重要意義。這一合作不僅提升了英諾賽科的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，也擴(kuò)大了ASML在硅基氮化鎵市場(chǎng)的份額。未來(lái)，雙方將繼續(xù)攜手共進(jìn)，共同推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。