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薄膜沉積設(shè)備
薄膜沉積設(shè)備
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本發(fā)明提供了一種APF薄膜沉積設(shè)備以及APF薄膜沉積通氣方法.本發(fā)明的APF薄膜沉積設(shè)備包括:供氣鋼瓶,冷凝管以及氣體板;其中,供氣鋼瓶中包含乙炔和丙酮,而且供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板通入氣體.在本發(fā)明中,利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板供氣,其中冷凝管過(guò)濾掉被揮發(fā)出來(lái)丙酮蒸汽,使得經(jīng)由冷凝管進(jìn)入氣體板的氣體的乙炔純度相對(duì)于供氣鋼瓶更高.

總投資20億元！萬(wàn)業(yè)企業(yè)攜手寧波芯恩打造國(guó)內(nèi)集成電路設(shè)備龍頭
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2021-12-27
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國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商拓荊科技沖刺科創(chuàng)板：供貨中芯華虹長(zhǎng)江存儲(chǔ)，已進(jìn) 14nm 產(chǎn)線
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國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商拓荊科技在沖刺科創(chuàng)板的過(guò)程中，展現(xiàn)了其在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域的顯著成就和競(jìng)爭(zhēng)力。以下是對(duì)該話題的詳細(xì)分析：一、公司概況與業(yè)務(wù)拓荊科技股份有限公司成立于2010年04月28日，總部位于遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備、原子層沉積(......
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2021-07-15
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